נורת תנור לליתוגרפיה של חצאי מוליכים

בתהליך הליתוגרפיה, חימום החומר הפוטורזיסטיבי אינו דבר שניתן לוותר עליו – זו בעצם הדרך לשלוט באיכות התוצר. אם טמפרטורת החימום אינה יציבה, או שהחימום...