על הקרש החצץ, הוופר יוצא ממיכל השטיפה ועובר לשלב הייבוש. נקודת חום אחת יתרה, שינוי בטמפרטורה – והדפוס שנוצר על ידי הפוטורזיסט עלול להיהרס. ייצרנו את מכשיר החימום שלנו כדי למנוע זאת – כי בעסק הזה אין מקום לחריגים.
מה חשוב בתהליך הייבוש אנו משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, עם גופי פליטה מסוג קוורץ-הלוגן. זה מאפשר חימום מהיר וממוקד, עם עיכוב תרמי מינימלי. אחידות הטמפרטורה על פני הוופר נשמרת ברמה של ±0.1°C, והדיוק של ערך הטמפרטורה נשמר ברמה של ±0.5°C. כך, כל תהליך ייבוש מתבצע בהתאם להנחיות המדויקות. העיצוב של המכשיר מאפשר פעולה בסביבות מסודרות: חומרים שאינם מגרים תגובות כימיות נמצאים על גוף החימום, ומסלול האוויר מתוכנן כך שלא יהיו חלקיקים שעלולים לפגוע בוופר. המכשיר שומר על יציבות החום לאורך כל הזמן; נתוני השימוש מראים שניתן להשתמש בו למעלה מ-5,000 שעות ללא צורך בתחזוקה, וללא עצירות בלתי צפויות.
למה זה חשוב בטכנולוגיית MEMS ב-MEMS, תהליך הייבוש אינו קשור רק להוצאת המים מהוופר. מדובר גם בשמירה על שלמות המבנה של הוופר לפני ואחרי תהליך הפיתוח. החימום המהיר של המכשיר מונע פגיעה בדפוס שנוצר על ידי הפוטורזיסט, וכך נמנעות תיקונים. שליטה טובה בטמפרטורה גם מקטינה את הצריכה התרמית, מה שמגן על השכבות העדינות של הוופר ומשפר את השליטה בממדים החשובים שלו. התוצאה היא פחות פגמים, שיעור הצלחה גבוה יותר, וזמני עבודה קבועים. בנוסף, מכיוון שגופי הפליטה יעילים, אנו מבזבזים פחות אנרגיה – כך שהשימוש באנרגיה יורד.
מה צריך לקחת בחשבון בעת ההתקנה יש לוודא שהמאפיינים המכניים של המכשיר תואמים את הדרישות. אנו מספקים את השרטוטים הדרושים, אך עליכם לוודא את קצב הזרימה של הנוזל המקרר ואת טמפרטורת הכניסה – אחרת עלולה להתרחש עלייה בטמפרטורה. המכשיר יפעל בצורה הטובה ביותר כאשר לחץ האוויר והרכב הגזים נמצאים בטווח המותר. במהלך ההתקנה, יש לבדוק את היעילות של החימום. זה מאפשר לוודא את אחידות הטמפרטורה ולהתאים את תהליך הייבוש לוופר הספציפי שלכם.