Sur le sol en pierre, la feuille de silicium quitte l’étape de rinçage pour entrer dans l’étape de séchage. Un point chaud ou une variation de température suffisent pour que le motif formé par le photo-résiste soit endommagé. Nous avons donc conçu un Chauffage spécial pour les feuilles de silicium MEMS, afin d’éviter cela – car dans ce domaine, on ne peut pas faire d’exceptions.
Ce qui est important dans le fonctionnement du chauffage Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes, alimentés par du quartz-halogène. Cela permet d’obtenir une chaleur rapide et ciblée, avec un retard thermique minimal. L’uniformité de la température sur toute la surface de la feuille de silicium est maintenue à ±0,1 °C, et la reproductibilité de la température de cuisson reste dans les limites de ±0,5 °C. Ainsi, chaque processus de cuisson se déroule exactement selon les spécifications prévues. Le design du dispositif prend en compte les exigences des salles propres : des matériaux passifs sur le corps du chauffage, ainsi qu’un système de flux d’air conçu pour réduire au minimum la libération de particules. Le dispositif garde donc une température constante en continu. Les données en conditions réelles montrent que le dispositif peut fonctionner pendant plus de 5 000 heures sans entretien, avec zéro temps d’arrêt imprévu lié au chauffage.
Pourquoi c’est utile en MEMS En MEMS, le séchage ne consiste pas simplement à retirer l’eau. Il s’agit aussi de protéger l’intégrité des structures avant et après le développement. Ce chauffage permet un séchage rapide, sans excès de chaleur, ce qui permet de conserver l’intégrité du motif formé par le photo-résiste et de réduire les besoins de retravail. Un contrôle précis de la température permet également de limiter les fluctuations thermiques, ce qui protège les films fragiles et améliore le contrôle des dimensions critiques. Les résultats sont donc des défauts moindres, un taux de réussite élevé lors de la première tentative de fabrication, et des temps de cycle constants. De plus, comme les émetteurs sont efficaces et que la chaleur est ciblée, moins de chaleur est gaspillée dans la chambre de traitement – ce qui réduit la consommation d’énergie.
Ce qu’il faut prendre en compte lors de l’installation Il est nécessaire de s’assurer que les caractéristiques mécaniques du dispositif correspondent aux exigences de la chambre de traitement. Nous fournissons les plans dimensionnels et les connecteurs nécessaires, mais c’est à vous de vérifier le débit du fluide de refroidissement et la température d’entrée. Sinon, il y a risque de surchauffe. Le chauffage fonctionne au mieux lorsque la pression et la composition gazeuse dans la chambre restent dans les limites prescrites. Lors de l’intégration, il est conseillé de réaliser un test de stabilisation thermique. Cela permet de confirmer l’uniformité de la température et de déterminer les paramètres de cuisson adaptés à votre pile de feuilles de silicium.