Arrêtez de gaspiller de la chaleur dans vos fours à wafer
Dans une salle propre, gaspiller de l’énergie, ce n’est pas seulement une question de facture d’électricité. C’est aussi un vrai problème. Lorsque vous chauffez des wafer en silicium, toute chaleur qui ne touche pas sa cible disparaît simplement… Mais elle ne disparaît pas pour autant : elle se propage, ce qui peut endommager le châssis du four ou déclencher ces alarmes agaçantes du système de refroidissement, ce qui perturbe tout le fonctionnement du four. Nous avons résolu ce problème en utilisant des revêtements en or à haute réflexivité au sein de l’appareil de chauffage infrarouge.
Pourquoi l’or ?
La plupart des gens utilisent des réflecteurs en aluminium, mais l’aluminium absorbe une grande partie de l’énergie infrarouge. Ce n’est donc pas efficace. L’or, lui, reflète la lumière infrarouge comme un miroir. Ainsi, les photons sont dirigés directement vers les wafer. Vous obtenez donc beaucoup plus de chaleur par watt. Cela signifie que vous pouvez atteindre la température souhaitée sans avoir besoin d’augmenter la tension ou de remplacer les lampes par des modèles plus puissants. C’est simplement plus intelligent.
Les inconvénients (et comment les surmonter)
Il y a bien sûr quelques compromis à prendre en compte. L’utilisation de l’or permet de conserver un appareil de chauffage de petite taille, tout en maintenant une forte densité de chaleur. Mais ces surfaces sont fragiles. Si de la poussière ou des produits chimiques se déposent sur cette couche en or, sa capacité de réflexion diminue. Ne jamais utiliser de produits chimiques abrasifs pour nettoyer ces surfaces : cela endommagerait le revêtement. De plus, l’alignement est crucial. Si la lampe n’est pas parfaitement alignée, même de quelques millimètres, l’effet de focalisation disparaît. Assurez-vous que les supports de fixation soient parfaitement stables, sans aucun mouvement possible.
Quel impact cela a-t-il réellement sur votre travail ?
En concentrant l’énergie, les wafer atteignent leur température cible plus rapidement. C’est tout. Les cycles de traitement deviennent plus courts. De plus, comme moins de chaleur s’échappe dans la cavité du four, les ventilateurs de refroidissement n’ont pas besoin de fonctionner à pleine puissance pour éviter que les composants électroniques ne surchauffent. Tout fonctionne donc plus efficacement, plus rapidement, et plus silencieusement.