http://ir-heating-hub.com/fa/tags/mems/ Recent content in MEMS on The Infrared Heating Hub Hugo fa Fri, 17 Jul 2026 08:07:35 +0800 http://ir-heating-hub.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Fri, 17 Jul 2026 08:07:35 +0800 http://ir-heating-hub.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="هیتر خشککن ویفر حسگر MEMS"></p> <p>چرا از روش خشک‌کردن با امواج مادون قرمز برای سنسورهای MEMS بدون سرب استفاده می‌کنیم؟<br> هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، با مشکلات پیچیده‌ای روبرو هستیم. باید تمام قطرات رطوبت و حلال‌ها را از بین ببریم، اما نمی‌توانیم حتی کوچکترین مقدار از آن‌ها را در ویفر باقی بگذاریم. همچنین، نمی‌توانیم از حرارت بیش از حد برای خشک کردن ویفر استفاده کنیم، چون این کار می‌تواند به ویفر آسیب برساند.</p> <p>به همین دلیل، از روش خشک‌کردن با امواج مادون قرمز استفاده می‌کنیم. به جای گرم کردن هوای اطراف، انرژی مستقیماً به سمت سطح ویفر ارسال می‌شود. در این روش، نیازی به فرهای حرارتی یا کاتالیزورهای شیمیایی نیست.</p> http://ir-heating-hub.com/fa/posts/mems-wafer-drying-heater/ Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800 http://ir-heating-hub.com/fa/posts/mems-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="هیتر خشککن ویفر MEMS"></p> <p>در کف سنگی، ویفر پس از شستشو، وارد مرحله خشک‌کردن می‌شود. حتی کمترین اختلاف دما نیز می‌تواند باعث تغییر در الگوی فوتورزیست شود. ما هیتر مناسبی برای خشک‌کردن ویفرهای MEMS طراحی کرده‌ایم تا از بروز چنین مشکلاتی جلوگیری شود؛ زیرا در این صنعت، هیچ استثنایی وجود ندارد.</p> <p><strong>عوامل مهم در عملکرد دستگاه</strong><br> ما از فرکانس‌های مادون قرمز برای تأمین گرما استفاده می‌کنیم؛ این روش باعث ایجاد گرمای سریع و متمرکز می‌شود، و تأخیر حرارتی نیز به حداقل می‌رسد. یکنواختی دما در سراسر ویفر حدود ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد است، و قابلیت تکرار دمای مورد نظر نیز در محدوده ±۰٫۵ درجه سانتی‌گراد است؛ بنابراین هر بار خشک‌کردن، دقیقاً مطابق با استانداردهای مشخص شده انجام می‌شود. طراحی دستگاه به گونه‌ای است که در محیط‌های کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز کارایی خوبی داشته باشد؛ مواد استفاده شده در بدنه هیتر، مانع از تولید ذرات مضر می‌شوند. این دستگاه، تولید گرما را در طول شبانه‌روز پایدار نگه می‌دارد؛ داده‌های مربوط به عملکرد دستگاه نشان می‌دهد که بین تعمیرات روتین، بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار بدون هیچ مشکلی انجام می‌شود.</p>