http://ir-heating-hub.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on The Infrared Heating Hub Hugo fa Fri, 03 Jul 2026 15:31:08 +0800 http://ir-heating-hub.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 15:31:08 +0800 http://ir-heating-hub.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-hub.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="لامپ فر لیتوگرافی نیمههادی"></p> <p>در فرآیندهای لیتوگرافی، حرارت‌دهی به فوتورزیست، چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه این کار تأثیر مستقیمی بر کیفیت محصول دارد. اگر دمای حرارت‌دهی مناسب نباشد یا فرآیند حرارت‌دهی به طور یکنواخت انجام نشود، خطاهای اندازه‌ای، لکه‌های روی ویفرها و در نهایت ویفرهایی که باید در سطل زباله قرار بگیرند، به وجود می‌آیند. وقتی که لامپ فر نتواند یکنواختی حرارتی را در سراسر ویفر حفظ کند، فرآیند کار با مشکل مواجه می‌شود.</p> <p><strong>چه چیزی اهمیت دارد؟</strong> ما لامپ‌های فر لیتوگرافی خود را با استفاده از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه و عناصر کوارتزی تطبیق‌داده‌ایم. این کار منجر به پاسخ سریع حرارتی و خروجی یکنواخت نوری می‌شود. سیستم به گونه‌ای تنظیم شده که یکنواختی حرارتی در سراسر منطقه حرارت‌دهی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی بماند؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد سیستم نیز حفظ می‌شود تا ابعاد مهم ویفرها در هر بار کار، در محدوده مشخص شده باقی بماند.</p>