جلوگیری از آلوده شدن ویفرها در صورت رسیدن دمای گرمکن به حد مجاز
در کارخانههای تولید نیمههادی، خراب شدن لامپهای گرمکن، مشکل سادهای نیست؛ بلکه یک فاجعه است. وقتی لوله کوارتز تحت فشار زیادی قرار میگیرد، نه تنها دیگر کار نمیکند، بلکه تکههای شیشهای و ذرات مختلفی را نیز روی ویفرها پخش میکند.
ما لامپهای گرمکن UHP خود را طوری طراحی کردهایم که از وقوع چنین مشکلاتی جلوگیری شود.
راز جلوگیری از خرابی لامپ
ما از سیلیکا مصنوعی برای ساخت لامپها استفاده میکنیم؛ این ماده بسیار خالص است (بیش از ۹۹.۹۹٪)، بنابراین میتواند در برابر شوکهای حرارتی شدید مقاومت کند، بدون اینکه ترکهای ریزی ایجاد شود که در نهایت منجر به خرابی لامپ شود.
در بیشتر مواقع، خرابی لامپ در نقطه اتصال الکترودها به لوله کوارتز رخ میدهد. ما این نقاط را تقویت کردهایم تا حتی در شرایط فشار بالا، اتصال لوله کوارتز محکم باقی بماند.
همچنین، رشته فیلامنت نیز باید در مرکز لوله قرار گیرد؛ چرا؟ چون در صورت انحراف کمی، نقطههای داغی روی دیواره لوله ایجاد میشود؛ این نقاط باعث تضعیف کوارتز میشوند. با قرارگیری دقیق فیلامنت، گرما به طور یکنواخت توزیع میشود و لوله کوارتز سالم میماند.
جلوگیری از گسترش آلودگی
حتی با استفاده از بهترین مواد، ما همچنان برای بدترین سناریوها برنامهریزی میکنیم.
ما عنصر گرمایشی را در یک غلاف کوارتزی با خلوص بالا یا یک پوشش محافظ قرار میدهیم؛ این پوشش مانند یک تور ایمنی عمل میکند. اگر لامپ داخلی خراب شود، این پوشش شیشه و گازهای موجود را جذب میکند؛ در نتیجه ویفرها تمیز میمانند و کیفیت محصولات نیز حفظ میشود.
یک نکته مهم: حتماً از مشخصات ولتاژی توصیهشده استفاده کنید؛ البته تمایل به استفاده از ولتاژ بالاتر برای ایجاد گرمای بیشتر وجود دارد، اما این کار ریسک بالایی دارد؛ زیرا باعث آسیب به فیلامنت شده و احتمال خرابی لامپ را افزایش میدهد.
تعادل بین کارایی و ریسک
راستش، این پوششهای محافظ باعث افزایش جرم حرارتی لامپ میشوند؛ بنابراین زمان رسیدن دما به حد مطلوب کمی طولانیتر خواهد بود. احتمالاً باید تنظیمات PID را تغییر دهید تا کنترل دما بهتر شود.
این قیمت کوچکی است که باید پرداخت شود؛ بهتر است که زمان رسیدن دما کمی طولانیتر باشد، تا از هدر رفتن کل محصولات به دلیل خرابی یک لامپ جلوگیری شود.