در فرآیندهای لیتوگرافی، حرارتدهی به فوتورزیست، چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه این کار تأثیر مستقیمی بر کیفیت محصول دارد. اگر دمای حرارتدهی مناسب نباشد یا فرآیند حرارتدهی به طور یکنواخت انجام نشود، خطاهای اندازهای، لکههای روی ویفرها و در نهایت ویفرهایی که باید در سطل زباله قرار بگیرند، به وجود میآیند. وقتی که لامپ فر نتواند یکنواختی حرارتی را در سراسر ویفر حفظ کند، فرآیند کار با مشکل مواجه میشود.
چه چیزی اهمیت دارد؟ ما لامپهای فر لیتوگرافی خود را با استفاده از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه و عناصر کوارتزی تطبیقدادهایم. این کار منجر به پاسخ سریع حرارتی و خروجی یکنواخت نوری میشود. سیستم به گونهای تنظیم شده که یکنواختی حرارتی در سراسر منطقه حرارتدهی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد سیستم نیز حفظ میشود تا ابعاد مهم ویفرها در هر بار کار، در محدوده مشخص شده باقی بماند.
ماژول لامپ برای کار در محیطهای پاکسازیشده درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ مواد و درزهای مورد استفاده نیز باعث جلوگیری از تولید ذرات میشوند. این دستگاهها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش خروجی نوری آنها کمتر از ۵٪ بوده است؛ این امر باعث عدم وجود توقفات غیرمنتظره در فرآیند کار میشود.
چرا این لامپ مهم است؟ این لامپ، کنترل دمایی مورد نیاز برای فرآیندهای لیتوگرافی مدرن را فراهم میکند. حرارتدهی به فوتورزیست به صورت یکنواخت انجام میشود، حذف حلالها نیز یکنواخت است؛ همچنین، حرارتدهی شدید منجر به ایجاد چسبندگی و استحکام لازم برای رعایت استانداردهای اندازهای میشود. در نتیجه، تعداد کارهای تکراری کمتر میشود، عملکرد ویفرها پایدارتر میشود و مصرف انرژی در هر چرخه کار نیز کاهش مییابد.
در خطوط بستهبندی که فرآیندهای مربوط به ویفرها را انجام میدهند، همین دقت باعث میشود که فرآیند خشک کردن فیلمها نیز یکنواخت باشد؛ این امر از تغییر شکل ویفرها جلوگیری میکند.
نکات مهم قبل از خرید: نصب لامپ، به تطبیق هندسه محفظه فر و هندسه بازتابنده بستگی دارد. فقط زمانی میتوانید خروجی مورد نظر را داشته باشید که لامپ با سرپوش کوارتزی و قطعات مربوطه مناسب پیوند داده شود.
پس از تغییر روشهای حرارتدهی، انتظار داشته باشید که زمان استабیل شدن دما کوتاه باشد؛ لذا باید فاصله زمانی لازم برای کالیبراسیون را در نظر بگیرید تا یکنواختی حرارتی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. قبل از خرید، سازگاری کنترلر فر را بررسی کنید.