در کارخانههای تولید، نوسانات حرارتی با استفاده از چراغهای هشداردهنده مشخص نمیشوند؛ بلکه این نوسانات منجر به کاهش بازدهی و اختلال در کنترل اندازهگیریهای مربوط به CD میشود. لامپهای جایگزین Mattson RTP طوری طراحی شدهاند که فرآیندهای خشککردن و پختن فوتورزیست را در محدوده حرارتی مورد نیاز نگه دارند.
عوامل مهم در عملکرد لامپها
ما از لامپهای هالوژنی با طول موج کوتاه و پوشش کوارتزی استفاده میکنیم؛ این لامپها برای دستیابی به سرعت پخت بالا و حالت پایدار و قابل تکرار، تنظیم شدهاند. این امر باعث میشود که دمای ویفر در طول فرآیند، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. همچنین، الگوهای پخت نرم و سخت نیز در هر بار اجرای فرآیند، یکسان عمل میکنند. این لامپها میتوانند توان خروجی خود را برای هزاران ساعت حفظ کنند؛ ما لامپهایی داریم که بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش توان خروجی آنها کمتر از ۵٪ بوده است. همچنین، از آنجایی که این لامپها در طول چرخههای کاری، ذراتی تولید نمیکنند، تعداد ذرات در اتاقهای پاک، در محدوده کلاس ۱ تا ۱۰۰ باقی میماند.
چرا این لامپها در فرآیندهای لیتوگرافی مفید هستند
در خطوط لیتوگرافی، به یک فرآیند پخت نرم نیاز است تا مواد حلکننده به خوبی خارج شوند؛ همچنین به یک فرآیند پخت سخت نیاز است تا فوتورزیست به درستی تثبیت شود، بدون اینکه اختلالی در اندازهگیریهای مربوط به CD ایجاد شود. این لامپها این قابلیت تکرارپذیری را فراهم میکنند؛ همچنین در خشککردن ویفر نیز مؤثر هستند، زیرا میتوانند رطوبت باقیمانده را به سرعت و به طور یکنواخت خارج کنند. نتیجه این امر، کاهش تعداد محصولات باکیفیت پایین، کاهش کارهای تکراری، و کاهش مصرف انرژی در هر بار تولید است.
جزئیات مهم در نصب لامپها
نصب این لامپها ساده است؛ اما باید جهت قرارگیری لامپها و همچنین تنظیمات آینههای بازتابنده، در هنگام تعویض لامپها بررسی شود. عدم تنظیم صحیح میتواند باعث ایجاد نقاط گرم موضعی و نوسانات حرارتی شود. حتماً مطمئن شوید که کانکتورها، ولتاژ و مسیرهای سرمایشی لامپها، با ویژگیهای اتاق کار مطابقت داشته باشند؛ همچنین، برنامهریزی برای بررسیهای نوری نیز ضروری است. شناسایی زودهنگام مشکلات مربوط به لامپها، به کنترل بهتر فرآیند کمک میکند.