Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS

Fri, 17 Jul 2026 08:07:28 +0800

Por qué utilizamos el curado por infrarrojos para los semiestándares sin plomo
Cuando se secan las obleas de sensores MEMS, surgen problemas difíciles de resolver. Es necesario eliminar hasta la última gota de humedad y disolvente, pero al mismo tiempo no se puede dejar ningún rastro de residuos. Además, tampoco se puede someter las obleas a un calor excesivo, ya que eso podría arruinar todo el proceso.

Por eso optamos por el curado por infrarrojos. En lugar de calentar todo el ambiente, el método de infrarrojos envía energía directamente al sustrato. No hay necesidad de hornos convencionales, ni de depender del aire caliente, ni de usar catalizadores químicos complicados.

Calentador de secado de obleas MEMS

Thu, 25 Jun 2026 05:16:28 +0800

En el suelo de litio, la oblea sale del proceso de enjuague y pasa a la fase de secado. Un punto caliente o una variación en la temperatura pueden causar que el patrón del fotoreductor se déforme. Por eso, hemos diseñado un calentador especial para el secado de las obleas MEMS, con el fin de evitar que esto ocurra. En este negocio, no se permiten excepciones.

Lo importante en su funcionamiento Utilizamos radiación infrarroja de onda corta, mediante emisores de cuarzo-halógeno. Esto nos permite obtener un calor rápido y dirigido, con una mínima demora térmica. La uniformidad de temperatura en toda la oblea se mantiene en ±0,1°C, y la repetibilidad del punto de ajuste está entre ±0,5°C. De este modo, cada proceso de secado se realiza tal como está establecido. El diseño del calentador incluye materiales pasivados en su estructura, además de un sistema de flujo de aire que evita la liberación de partículas, lo que permite que funcione en entornos de clase 1–100. La unidad mantiene una salida constante, con datos que indican más de 5,000 horas de funcionamiento sin necesidad de mantenimiento, sin interrupciones imprevistas relacionadas con el calentador.

MEMS on The Infrared Heating Hub

Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS

Calentador de secado de obleas MEMS