Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Fri, 17 Jul 2026 08:14:23 +0800

Warum wir auf Herde verzichten und stattdessen Infrarotbehandlung für die Trocknung von Smart-Sensoren nutzen
Seien wir ehrlich: Traditionelle Konvektionsöfen sind im Grunde bereits veraltet. Im Bereich der Verpackung von Smart-Sensoren wandeln wir uns daher von diesen Öfen ab und bevorzugen stattdessen die Infrarotbehandlung. Das macht einfach mehr Sinn – besonders angesichts aller neuen Vorgaben bezüglich grüner Energiequellen sowie des Bestrebens, auf bleifreie Materialien umzusteigen.

Wenn man Klebstoffe trocknen oder Polymere härten will, möchte man auf keinen Fall, dass das Siliziummaterial kontaminiert wird oder dass unnötig viel Energie verbraucht wird, nur um einen großen Metallkasten zu erwärmen.

Trocknen von Halbleitern vor der Verpackung im Werk

Wed, 17 Jun 2026 16:30:06 +0800

In der Verpackungslinie reicht bereits ein kleiner Restfeuchtigkeitsgehalt nach der Reinigung aus, um zu Delaminierungen, Versagen der Leitungen sowie Schwankungen in der Produktqualität zu führen. In einer Anlage, die rund um die Uhr in Betrieb ist, sind thermische Schwankungen und Partikelbelastungen keine „Risiken“ – sie stellen vielmehr größere Hindernisse dar. Der Trocknungsprozess muss wiederholbar, sauber und schnell ablaufen – bei jedem Schichtwechsel, bei jeder Charge.

Was wirklich wichtig ist:
Wir gestalten den Trocknungsprozess unter Berücksichtigung zweier Faktoren: Der Gleichmäßigkeit auf der Wafer-Ebene sowie der Sauberkeit im Reinraum. Das System hält die Temperatur innerhalb von ±0,1 °C konstant – dadurch bleibt die Integrität des Photoresists erhalten. Der Prozess findet in Umgebungen der Klasse 1–100 statt, wobei keine Partikel entstehen. Die Lebensdauer der Komponenten beträgt mehr als 10.000 Stunden, und die Leistung bleibt über Tausende von thermischen Zyklen hinweg stabil. Die Wiederholgenauigkeit wird durch eine geschlossene Regelung, nachvollziehbare Vorgaben sowie eine genaue Erfassung des thermischen Feldes gewährleistet.

Verpackung on The Infrared Heating Hub

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Trocknen von Halbleitern vor der Verpackung im Werk