Ersatz für Nikon Stepperlampe

Mon, 29 Jun 2026 07:45:55 +0800

Auf der Fertigungsstrecke dient diese Stepperlampe nicht nur dazu, das Zielmuster zu beleuchten – sie legt außerdem die thermischen Bedingungen für jede Belichtung fest. Wenn die Leistung der Lampe schwankt, beeinflusst das auch die Ergebnisse der Verarbeitung. Die Gleichmäßigkeit bei der Weich- und Hartbelichtung leidet darunter, und auch die Kontrolle über die CD-Werte wird beeinträchtigt. Man liest davon zwar keine Schlagzeilen – doch die Auswirkungen sind auf der Produktionslinie deutlich sichtbar.

Was technisch wichtig ist:
Die Ersatzlampe von Nikon basiert auf Halogenlichtquellen und bietet eine präzise Spektralkontrolle, sodass die Energiedichte auf der Waferoberfläche konstant bleibt. An der Schnittstelle zur Heizplatte wird eine thermische Gleichmäßigkeit von ±0,1°C gewährleistet – das reicht aus, um die Empfindlichkeit des Photoretins konstant zu halten und zu verhindern, dass Welleneffekte im Film entstehen. Die Lampe ist für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100 geeignet und erzeugt beim Start oder in Betrieb keine Partikel. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5% Abfall. Dadurch bleibt das Prozessfenster stabil, und man muss keine Nacharbeiten vornehmen.

Schrittmotor on The Infrared Heating Hub

Ersatz für Nikon Stepperlampe