Ersatz der Mattson RTP Lampe

Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800

In der Fertigungsstätte zeigt sich die thermische Abweichung nicht durch ein Warnlicht an. Stattdessen zeigt sie sich in einem Rückgang der Produktqualität sowie in Unregelmäßigkeiten bei der Kontrolle des CD-Werts. Die Mattson RTP-Lampen sind so konzipiert, dass die Trocknungs- und Fotolackverarbeitungsschritte innerhalb des zulässigen Temperaturbereichs stattfinden – genau dort, wo sie hingehören.

Was wirklich wichtig ist Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Halogenlampen mit Quarzkörpern. Diese Lampen sind so eingestellt, dass sie eine schnelle Erhitzung sowie einen konstanten, wiederholbaren Betriebszustand ermöglichen. Dadurch wird eine Temperaturhomogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C gewährleistet. Zudem sorgen diese Lampen dafür, dass die Trocknungsvorgänge immer gleich ablaufen. Sie halten ihre Leistung über Tausende von Stunden hinweg konstant – wir haben bereits Geräte, die seit mehr als 5.000 Stunden betrieben werden, ohne dass es zu einem Leistungsabfall von mehr als 5% kommt. Da diese Lampen bei ihrem Betrieb keine Partikel freisetzen, bleiben die Partikelkonzentrationen im Reinraum innerhalb der gewünschten Werte (Klasse 1–100).

Halogenlampe für RTP System

Fri, 26 Jun 2026 05:40:43 +0800

Im Einsatz ist die thermische Drift keine Laborerscheinung – sie stellt vielmehr ein ernsthaftes Problem dar. Wenn man RTP verwendet, muss die Halogenlampe eine konstante Wärmeabgabe ermöglichen, schnell und ohne dass Partikel in den Prozess gelangen oder Unregelmäßigkeiten entstehen.

Was wirklich wichtig ist Wir bauen die Lampe um einen hochreinen Halogenfaden herum, der sich in einer Quarzkapsel befindet. Dadurch wird Energie in Form von Kurzwellen abgegeben, wodurch die Temperatur schnell und vorhersehbar ansteigt. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperatur über das gesamte Prozessfenster hinweg gewährleistet – mit einer Abweichung von ±0,1°C. So bleibt der thermische Bedarf gering. Die Lampe ist für Reinräume geeignet, kompatibel mit Umgebungen der Klassen 1–100 und ist so konzipiert, dass sie ohne Erzeugung von Partikeln funktioniert.

RTP on The Infrared Heating Hub

Ersatz der Mattson RTP Lampe

Halogenlampe für RTP System