UHP Heizlampe (Ultra High Purity)

Tue, 14 Jul 2026 10:39:14 +0800

Vermeidung der Kontamination der Wafer, wenn die Heizung an ihre Grenzen stößt
In einer Halbleiterfabrik bedeutet ein defekter Heizlampen eine echte Katastrophe – es handelt sich dabei nicht nur um einen kleinen Ärger oder eine zeitweilige Unterbrechung der Produktion. Ein geplatzter Quarzrohr unter hoher Last führt dazu, dass die Wafer mit Glassplittern und Partikeln bedeckt werden.
Wir haben unsere UHP-Heizlampen so konstruiert, dass so etwas gar nicht erst passieren kann.

Das Geheimnis zur Verhinderung von Defekten
Wir verwenden synthetischen, gefügten Siliziumdioxid als Material. Dieses Material ist äußerst rein – über 99,99 %. Dadurch kann es den extremen thermischen Belastungen standhalten, ohne dass Mikrorisse entstehen, die letztendlich zum Bruch des Rohres führen könnten.
Meistens tritt der Defekt an der Stelle auf, an der die Elektroden mit dem Quarzrohr in Berührung kommen. Wir haben diese Stellen verstärkt, damit die Abdichtung auch unter hohem internen Druck weiterhin gewährleistet bleibt.
Außerdem wird der Filament im richtigen Abstand zentriert. Warum? Weil jede Abweichung dazu führt, dass es an der Wand des Rohres heiße Stellen gibt. Diese Stellen schwächen das Quarzrohr. Durch präzises Zentrieren bleibt die Wärmeverteilung gleichmäßig und das Rohr bleibt intakt.

Reinheit on The Infrared Heating Hub

UHP Heizlampe (Ultra High Purity)