Herstellung von Biosensoren mit Infrarotlampe

Sun, 21 Jun 2026 06:54:11 +0800

Auf der Wafer-Oberfläche lässt die Herstellung von Biosensoren keine Abweichungen zu. Die Weichbäck- und Hartbäckvorgänge bestimmen das thermische Verhalten der Bauteile – schon kleine Abweichungen von einigen Grad führen dazu, dass die mikrofluidischen Kanäle sowie die Sensorschichten ihre Dimensionen nicht mehr genau einhalten können. Infrarotheizung ist sinnvoll – allerdings nur dann, wenn die Lampe eine wiederholbare, gleichmäßige Energieabgabe gewährleistet.

Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellen-NIR-Emiter im Quarz-Halogen-Design. Diese Emiter sorgen für eine schnelle Erwärmung sowie eine stabile Temperatur. Das System hält die Gleichmäßigkeit auf der Wafer-Oberfläche bei ±0,1°C – dadurch werden alle Bäckvorgänge stets zu den gewünschten Ergebnissen.

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Herstellung von Biosensoren mit Infrarotlampe