Mehr Wärme genau dort, wo sie wirklich gebraucht wird
In einer Halbleiterfabrik ist der Energieverbrauch im Grunde genommen ein Konstruktionsfehler. Wenn man Siliziumwafer erhitzt, geht es nicht nur darum, „viel Wärme“ zu erzeugen. Jeder einzelne Photon muss die Oberfläche des Wafer erreichen. Deshalb verwenden wir Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser in Kombination mit reflektierenden Elementen aus Gold. Dadurch wird verhindert, dass die Energie einfach in die Luft entweicht.
Das Besondere am Gold: Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch Aluminium absorbiert zu viel Energie. Gold hingegen ist hervorragend darin, Infrarotlicht zurückzuspiegeln. Indem wir den Lampenkörper mit Gold auskleiden, leiten wir die Strahlung, die sonst in die falsche Richtung geht, wieder zurück zum Ziel.
Es handelt sich dabei quasi um einen „Tricks“. So kann man den Wärmestrom effektiv verdoppeln, ohne zusätzliche Stromspannungen benötigen zu müssen.
Außerdem nutzen wir Kohlenstofffaserfilamente – schließlich können diese unter schnellen Temperaturwechseln standhalten. Sie erreichen ihre Betriebstemperatur viel schneller als die herkömmlichen Wolframspulen. Diese Schnelligkeit verhindert, dass die Wafer verformen.
Aber Achtung: Wenn man die Leistungsintensität erhöht, müssen auch die Kühlsysteme mithalten. Falls der Wärmetauscher nicht für den erhöhten Wärmeaufkommen ausgelegt ist, wird die gewünschte Temperatur nicht mehr eingehalten.
Die Installation dieser Komponenten ist ziemlich einfach. Wir haben sie so konzipiert, dass sie problemlos in die beengten Räume der Fabriken passten.
Ein paar Tipps zur Anschlussmontage:
Erstens: Stellen Sie sicher, dass Ihre Steuergeräte die spezifische Impedanz der Kohlenstofffaser bewältigen können.
Zweitens: Achten Sie auf die richtige Ausrichtung der Komponenten. Der Goldreflektor funktioniert nur, wenn er perfekt positioniert ist. Wenn die Lampe auch nur um wenige Millimeter vom Mittelpunkt abweicht, entstehen an den Wafern Hotspots statt einer gleichmäßigen Wärmeverteilung. Überprüfen Sie außerdem die Fokaldistanz – das macht einen großen Unterschied.