V provozu se termální odchylky neprojevují pomocí varovného světła. Projevují se spíše ztrátou kvality výrobku a nesprávným řízením hodnot CD. Náhradní žárovky Mattson RTP jsou navrženy tak, aby udržovaly proces sušení a zpracování fotorezistorů v požadovaném teplotním rozmezí.
Co je důležité pod kapotou
Používáme halogenové žárovky s krátkovlnným infračerveným zářením, které mají křemennou obálku. Jsou nastaveny tak, aby umožňovaly rychlý nárůst teploty a stabilní stav během celého procesu. Díky tomu je dosažena rovnoměrnosti teploty na úrovni čipů o ±0,1°C během celého procesu. Profily sušení jsou také konzistentní během každého cyklu. Tyto žárovky udržují stabilní výkon po tisíce hodin – máme jednotky, které fungují již více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. A protože při svém provozu nevytvářejí částice, počet částic v čisté místnosti zůstává v mezích hodnot typu 1–100.
Proč je to důležité v litografii
V litografických linkách potřebujeme proces jemného sušení, který efektivně odstraní rozpouštědla, a proces tvrdého sušení, který zajistí správné zpracování fotorezistorů bez nadměrného nárůstu teploty. Tyto náhradní žárovky zajišťují takovou reprodukovatelnost, a také podporují rychlé a rovnoměrné sušení čipů. Výsledkem je méně odpadu, méně oprav a nižší energetická spotřeba za jednu várku díky efektivnímu spojení paprsků a rychlému stabilizování teploty.
Détaily, na které je potřeba dbát
Instalace je jednoduchá, ale je potřeba kontrolovat orientaci žárovky a zarovnání reflektorů během výměny. Nesprávné zarovnání může vést ke vzniku lokálních tepelných bodů a odchylek teploty. Ujistěte se, že konektor, napětí a systém chlazení odpovídají vaší komoře, a stanovte plán pro optické kontroly. Včasné zjištění konца životnosti žárovky pomáhá udržet kontrolu nad procesem v pořádku.