ফ্যাব ফ্লোরে, লেজার কাজ করার সময় খুব কমই ডাইসিং-সংক্রান্ত সমস্যা দেখা দেয়। এই সমস্যাগুলো আসলে আরও আগেই শুরু হয়—যখন সাবস্ট্রেটটি খুব ঠান্ডা থাকে, অসমানভাবে অবস্থিত থাকে, অথবা ফটোরেজিস্টের তাপীয় সীমার বাইরে চলে যায়। এর ফলে মাইক্রো-চিপিং, এজ-ক্র্যাকিং ইত্যাদি সমস্যা দেখা দেয়। আমরা লেজার ওয়েফার ডাইসিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করার জন্য একটি হিটার তৈরি করেছি; যাতে প্রতিবারই নির্ধারিত মানে কাটিং হয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
হিটেড জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর সেটপয়েন্টটি এমনভাবে নির্ধারিত থাকে যাতে প্রক্রিয়াটি ধারাবাহিকভাবে চলতে পারে। হিটারটি ক্লিনরুম-উপযোগী; এটা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না, ফলে কাজ শেষ হওয়ার পরও কোনো দূষণ দেখা দেয় না। এটা লেজার ডাইসিং প্ল্যাটফর্মের সাথে সহজেই ইন্টিগ্রেট হয়; আর ২৪/৭ ঘন্টা কাজ করতে পারে।
কেন এটা গুরুত্বপূর্ণ? কারণ লেজার ডাইসিং প্রক্রিয়াটি তাপীয়ভাবে সংবেদনশীল। যদি ওয়েফারটি অপর্যাপ্তভাবে উত্তপ্ত হয়, তাহলে লেজারের শক্তি ফিল্ম স্ট্যাক ও সাবস্ট্রেটে তাপীয় শক সৃষ্টি করে; যার ফলে ডেলামিনেশন ঘটে। আবার, যদি ওয়েফারটি অতিরিক্তভাবে উত্তপ্ত হয়, তাহলে ফটোরেজিস্ট নরম হয়ে যায় এবং এজগুলো গোলাকার হয়ে যায়; ফলে কাটিংয়ের গঠন পরিবর্তিত হয়।
এই হিটারটি কাটিং-পয়েন্টে ওয়েফারের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখে; ফলে ফটোরেজিস্টের অখণ্ডতা বজায় থাকে এবং কাটিংয়ের গুণমান ভালো থাকে। এর ফলে রিজেক্টড ওয়েফারের সংখ্যা কমে যায়, রিওয়ার্কের পরিমাণও কমে যায়।
কয়েকটি ব্যবহারিক নোট: ইনস্টলেশনের সময় গ্যাস প্রবাহের দিক ও এক্সহস্ট রাউটিং খুব গুরুত্বপূর্ণ। এগুলো ভুল হলে ওয়েফারের কিনারায় তাপীয় পার্থক্য দেখা দেয়। হিটারটি দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছায়; কিন্তু তাপীয় স্থিতিশীলতা চেঞ্জারের ডিজাইন ও চেম্বারের তাপীয় ভরের উপর নির্ভর করে। তাই শুধুমাত্র হিটারটি নয়, পুরো সিস্টেমটিই যাচাই করা দরকার। আর হ্যাঁ, এখানে ব্যবহৃত উপকরণগুলো ক্লিনরুম-উপযোগী; কিন্তু ওয়েট-প্রসেসিং প্রক্রিয়ায় সলভেন্টের সংস্পর্শ এড়ানোর জন্য নির্দিষ্ট নিয়মগুলো মেনে চলা দরকার।