استبدال مصباح Mattson RTP

Tue, 30 Jun 2026 17:32:45 +0800

في أرضية المصنع، لا يظهر التغيرات الحرارية عبر أضواء تحذيرية. بل يظهر ذلك من خلال انخفاض جودة المنتجات وعدم استقرار درجة الحرارة. تم تصميم مصابيح Mattson RTP للحفاظ على درجات الحرارة ضمن النطاق المطلوب، حتى في خطوات التجفيف ومعالجة المواد الفوتورزيستية.

ما الذي يهم فعلاً؟ نستخدم مصابيح هالوجينية بأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، مع غلاف من الكوارتز، بهدف تحقيق توازن حراري دقيق على مستوى الرقاقة، بدرجة تغير لا تتجاوز ±0.1 درجة مئوية خلال عملية المعالجة. كما أن هذه المصابيح تحافظ على استقرار الإشعاع لآلاف الساعات؛ فقد استخدمنا مصابيح لمدة 5,000 ساعة أو أكثر، دون أن يزيد انخفاض الإشعاع عن 5%. وبما أن هذه المصابيح لا تنتج أي جسيمات أثناء عملها، فإن نسبة الجسيمات في الغرفة تظل ضمن النطاق المطلوب (من الفئة 1 إلى 100).

مصباح هالوجين لنظام RTP

Fri, 26 Jun 2026 05:40:43 +0800

في الواقع، التغيرات الحرارية ليست مجرد ظاهرة تخص المختبرات فقط؛ بل هي مشكلة كبيرة في عمليات التصنيع. عند استخدام جهاز RTP، يجب أن توفر مصابيح الهالوجين حرارة مستقرة وسريعة، دون إضافة أي جسيمات إلى العملية أو تسبب أي تغيرات غير مرغوب فيها.

ما الذي يهم حقًا؟ نقوم بتصنيع المصباح من خلال استخدام سلك هالوجيني عالي النقاء داخل غلاف من الكوارتز، مما يسمح بإطلاق طاقة موجات قصيرة، وبالتالي يساعد في الحفاظ على درجة حرارة مستقرة وقابلة للتنبؤ بها. وهذا يساعد في الحفاظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقات، ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مما يساعد في الحفاظ على استقرار العملية. كما أن المصباح مناسب للاستخدام في بيئات نظيفة، ويمكنه العمل بشكل مستقر دون إنتاج أي جسيمات.

RTP on The Infrared Heating Hub

استبدال مصباح Mattson RTP

مصباح هالوجين لنظام RTP