اپنے کلاس 100 کلین روم کو واقعی صاف رکھنا
اگر آپ کلاس 100 کلین روم چلاتے ہیں، تو آپ کو اس مشکل کا ادراک ہوگا: ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ یا کوئی چھوٹا سا ذرہ بھی، اور آپ کے سیمی کنڈکٹر ویفر خراب ہو جاتے ہیں۔ یہ بہت پریشان کن بات ہے۔ زیادہ تر ہیٹنگ عناصر بھی مشکل کا باعث بنتے ہیں، کیوں کہ وہ استعمال کے دوران گیسیں خارج کرتے ہیں یا ذرات پیدا کرتے ہیں، جبکہ ان کو استحکام کی ضرورت ہوتی ہے۔
ہم نے ایک بہتر طریقہ دریافت کیا۔ ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز انفراریڈ لیمپ استعمال کرتے ہیں، اور ان کے ساتھ ٹیفلون سے بنے تار بھی استعمال کرتے ہیں۔ یہ طریقہ سادہ ہے، لیکن بہت مؤثر ہے۔
اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کی خصوصیات
ہم نے لیمپوں کے لئے سنتھیٹک فیوزڈ سیلیکا کا استعمال کیا۔ کیوں؟ کیوں کہ یہ اعلیٰ درجہ حرارت پر بھی خراب نہیں ہوتا۔
عام شیشہ، گرم یا ٹھنڈا ہونے کے دوران مائکروسکوپک ذرات خارج کرتا ہے۔ لیکن یہ کوارٹز ایسا نہیں کرتا۔ یہ انفراریڈ شعاعوں کو براہ راست سبسٹریٹ تک پہنچنے دیتا ہے، بغیر خود گرم ہونے کے۔ کوئی ذرات خارج نہیں ہوتے… صرف صاف، براہ راست حرارت ہی ملتی ہے۔
تاروں کو نظرانداز نہ کریں
دراصل، لیمپ تو صرف آدھا حل ہے۔ زیادہ تر لوگ تاروں کو نظرانداز کرتے ہیں، لیکن عموماً کلین روم کی ناکامی اسی وجہ سے ہوتی ہے۔
اگر آپ سیمی کنڈکٹر ٹولوں میں عام PVC تار استعمال کریں، تو حرارت کی وجہ سے انسولیشن خراب ہو جاتا ہے۔ اس سے ویکیوم یا ہوا میں گیسیں خارج ہوتی ہیں… یہ دراصل آلودگی کا سبب بنتا ہے۔
اسی لئے ہم PTFE (ٹیفلون) سے بنے تار استعمال کرتے ہیں۔ یہ کیمیائی طور پر غیرفعال ہے… یہ خراب نہیں ہوتا، اور گرمی کی وجہ سے بھی کوئی گیسیں خارج نہیں ہوتیں۔
انجینئرنگ کی حقیقت
یہ اعلیٰ توانائی والے لیمپ بہت اچھے ہیں، کیوں کہ یہ تیزی سے حرارت پیدا کرتے ہیں… جو کہ ویفر پروسیسنگ کے لئے ضروری ہے۔ لیکن اس کے ساتھ ہی کچھ مشکلات بھی ہیں۔
آپ کو انسٹالیشن کے معاملے میں بہت محتاط رہنا ہوگا… آپ کے ماؤنٹنگ بریکٹس کو ایسے ہونے چاہئیں کہ وہ ذرات خارج نہ کریں، اور کولنگ ایئر فلو بھی درست ہونا چاہیے۔ اگر ہوا مناسب طریقے سے نہ گزرے، تو ٹیفلون بھی خراب ہو سکتا ہے… آپ نہیں چاہیں گے کہ چھ ماہ بعد کولنگ سسٹم کی وجہ سے انسولیشن خراب ہو جائے۔
ہم نے ان یونٹوں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ وہ آپ کے موجودہ ٹولوں کے بدلے استعمال کئے جا سکیں… آپ بس ان کو تاروں سے جوڑ دیں، PID کنٹرولر کو سیٹ کر دیں، اور کوارٹز لیمپوں کو کام کرنے دیں… آپ کی پروڈکشن لائن صاف رہے گی، اور آپ کو ذرات کی آلودگی کی فکر کرنے کی ضرورت نہیں رہے گی۔