
Як підтримувати чистоту у приміщенні класу 100
Якщо ви керуєте приміщенням класу 100, ви, напевно, знаєте про всі проблеми, які можуть виникнути: одна-єдина крихітка пилу чи уламок матеріалу може зруйнувати ваші полупровідникові пластини. Це дуже прикро. Більшість нагрівальних елементів є проблемою – вони випускають гази чи утворюють частинки саме тоді, коли їх необхідно, щоб вони залишалися стабільними.
Ми знайшли кращий спосіб. Ми використовуємо лампи інфрачервоного світла з високочистим кварцем, поєднуючи їх із проводкою, ізольованою тефлоном. Це просто, але ефективно.
Переваги високочистого кварцу
Ми вибрали синтетичний фусований кремнезем для корпусів ламп. Чому? Тому що він не реагує на високі температури. Стандартне скло під час нагрівання та охолодження випускає мікроскопічні частинки. Але цей кварц залишається незмінним. Він дозволяє інфрачервоному випромінюванню проходити прямо до поверхні оброблюваного матеріалу, не нагріваючись сам. Жодних уламків, жодних випарень – лише чисте тепло.
Не забувайте про проводку
Лампа – це лише половина рішення. Більшість людей ігнорують проводку, але саме вона часто стає причиною проблем у приміщенні класу 100. Якщо використовувати стандартну PVC-проводку, тепло з часом руйнує ізоляцію. Це призводить до випуску летких органічних сполук у вакуум чи повітря. Це фактично спосіб забруднення приміщення.
Тож ми використовуємо проводку, покриту PTFE (тефлоном). Вона хімічно інертна, не піддається деградації та не випускає парів, навіть при високих температурах.
Реальність інженерної реалізації
Ці лампи з високою інтенсивністю є чудовими, адже вони швидко нагрівають приміщення – саме це потрібно для обробки полупровідникових пластин. Але ця потужність має свої недоліки. Потрібно ретельно планувати конструкцію приміщення. Кронштейни для кріплення ламп не повинні виділяти частинки, а система охолодження має бути ефективною. Якщо повітря не циркулює достатньо, навіть тефлон може пошкодитися. Ви не хочете, щоб ізоляція зламалася через проблеми з охолодженням через шість місяців.
Ми розробили ці пристрої так, щоб їх можна було легко встановити замість існуючих пристроїв. Достатньо лише підключити їх до електромережі, налаштувати контролер PID та дозволити лампам виконувати свою роботу. Таким чином ваша лінія виробництва залишатиметься чистою, і вам не доведеться турбуватися про забруднення частинками.