На виробничій лінії дефекти, які виникають під час різання за допомогою лазера, з’являються рідко. Вони починаються раніше – коли поверхня підкладки занадто холодна, неїдка або знаходиться поза межами температурного діапазону, прийнятного для фотолаку. Це призводить до утворення мікротріщин, пошкоджень країв та нерівномірностей у формі шва між смугами. Ми створили спеціальний нагрівач для контролю температури під час різання, щоб температура залишалась в заданих межах під час кожної процедури різання.
Що є важливим з технічної точки зору
У зоні нагріву досягається температурна однорідність на рівні ±0,1°C, а точність регулювання температури забезпечує стабільність процесу протягом усіх процедур. Корпус нагрівача придатний для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; він також розроблений таким чином, щоб не створювати жодних частинок, що запобігає загрязненню під час роботи. Нагрівач інтегрується в систему різання за допомогою лазера через механічний интерфейс та електричний кабель; він працює 24/7 з тією надійністю, яку очікується у масовому виробництві.
Це важливо тому, що процес різання за допомогою лазера є чутливим до температури. Якщо пластинка недостатньо нагріта, енергія лазера може спричинити теплові удари, що призведе до пошкоджень покриття та підкладки. Якщо ж пластинка надмірно нагріта, це може призвести до розм’якшення фотолаку та зміни геометрії шва між смугами.
Цей нагрівач стабілізує температуру пластинки прямо в точці різання, що захищає фотолак та забезпечує однорідність шва. Це призводить до меншої кількості бракованих продуктів, меншої кількості корекцій та стабільної продуктивності.
Кілька практичних порад: правильна установка залежить від напрямку потоку газу та маршруту відведення парів. Якщо це зроблено неправильно, можуть виникнути локальні перепади температури по краях пластинки. Нагрівач швидко досягає заданої температури, але процес стабілізації залежить від конструкції пристрою та теплової ємності камери. Тож необхідно перевірити всю систему, а не лише сам нагрівач. Матеріали, з яких виготовлений нагрівач, підходять для використання в чистих приміщеннях, але під час процедур, пов’язаних із використанням розчинників, все одно необхідно дотримуватися строгих стандартів безпеки.