Припиніть марнувати енергію у вашій камері для обробки пластин
Якщо ви коли-небудь нагрівали кремнієві пластини всередині камери для обробки, ви знаєте, які труднощі це приносить. Стандартні кварцові лампи випромінюють тепло в усіх напрямках. Половина енергії просто йде на нагрів корпусу чи стінок камери, а не самої пластини. Це марна трата енергії та додаткові проблеми для вашого обладнання.
Ми вирішили цю проблему, додавши відбивачі, покриті золотом. Замість того, щоб тепло розсіювалося, ми спрямовуємо його прямо на пластину.
Чому саме золото?
Просто. Золото чудово відбиває інфрачервоне світло. Додавши тонкий шар високоякісного золота на зворотну сторону відбивача, ми можемо спрямувати значно більше енергії на пластину. Це означає, що пластина досягає потрібної температури швидше. Ви не лише економите електроенергію, але й час.
Збереження прохолоди там, де це важливо
Камери для обробки є досить компактними. Якщо ви використовуєте занадто велику потужність лампи для компенсації втрат тепла, це призводить до того, що решта камери також стає занадто гарячою.
Оскільки золоте покриття так добре фокусує енергію, вам не потрібно використовувати занадто потужні джерела живлення. Таким чином, температура залишається саме там, де потрібно – на пластині, а решта обладнання залишається в нормальному стані.
Кілька порад
Це не чари – є кілька недоліків. Оскільки тепло фокусується дуже точно, „ідеальна зона“ є досить маленькою. Якщо пластина не знаходиться точно в фокусі, буде нерівномірне нагрівання. Тож потрібно бути дуже точним у виборі положення пластини по осі Z.
Крім того, золото є досить вибагливим матеріалом. Якщо у вашому процесі використовуються корозійні гази, вони можуть пошкодити покриття, що призведе до його пошкодження. У такому разі просто захистіть відбивачі – і все буде гаразд.
Як це працює
Ми розробили ці відбивачі як прості замінники для ваших поточних інфрачервоних ламп. Ми використали міцні з’єднувачі, щоб ви не хвилювалися про перегрів контактів під впливом високого струму.
Підключіть їх до контролера PID для регулювання температури – і ви відразу помітите різницю. Час нагрівання за один цикл значно скоротиться.