Sınıf 100 temiz oda ortamını gerçekten temiz tutmak
Eğer Sınıf 100 temiz oda işletiyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu zaten biliyorsunuzdur: Bir tane bile toz parçacığı veya yabancı madde, yarı iletken waflarınızın bozulmasına neden olabilir. Bu oldukça sinir bozucu bir durum. Çoğu ısıtma elemanı da sorun yaratır; çünkü istikrarlı çalışması gereken anlarda gaz salar veya parçacıklar bırakır.
Daha iyi bir çözüm bulduk. Yüksek saflıkta kuvars infraruj lambalar kullanıyoruz ve bunları Teflon ile yalıtılmış kablolarla birleştiriyoruz. Basit bir çözüm, ancak etkili.
Yüksek saflıkta kuvarsın avantajları
Lamba kapsülleri için sentetik füzyonlu silika kullandık. Neden mi? Çünkü yüksek sıcaklıklarda bile bozulmaz. Standart camlar ısındığında ve soğuduğunda mikroskobik parçacıklar salar. Ancak bu kuvars sabit kalır. İnfraruj radyasyonunun doğrudan substrata ulaşmasını sağlar ve kendisi aşırı ısınmaz. Ne parçalanma ne de dökülme olur; sadece temiz ve doğrudan ısı sağlanır.
Kabloları unutmayın
İşin aslı şu ki, lamba sadece problemin yarısıdır. Çoğu insan kabloları göz ardı eder, ancak genellikle temiz odanın başarısız olmasının sebebi budur. Eğer yarı iletken ekipmanlarda standart PVC kablolar kullanırsanız, ısı sonunda yalıtımı bozar. Böylece uçucu organik bileşikler vakuma veya havaya karışır. Bu da bir tür kirlilik kaynağıdır.
Bu yüzden PTFE (Teflon) kaplamalı kablolar kullanıyoruz. Kimyasal olarak inerttir; bozulmaz ve sıcaklık arttığında bile gaz salmaz.
Mühendisliğin gerçekleri
Bu yüksek yoğunluklu lambalar harikadır; çünkü hızla ısı üretirler – ki bu da wafer işlemleri için gerekli olan şeydir. Ancak bu güç kullanımının bir bedeli vardır. Kurulum konusunda dikkatli olmalısınız. Montaj braketlerinin parçalanmaması gerekir ve soğutma havası da mükemmel olmalıdır. Eğer hava yeterince hareket etmiyorsa, Teflon bile dayanamaz. Altı ay sonra soğutma sorunları yüzünden yalıtımın bozulmasını istemezsiniz.
Bu cihazları mevcut ekipmanların yerine kolayca takılacak şekilde tasarladık. Sadece kabloları bağlayın, PID kontrolcüsünü ayarlayın ve kuvars lambaların işini yapmasına izin verin. Böylece üretim hattınız temiz kalır ve parçacık kirliliği konusunda endişelenmenize gerek kalmaz.