Как сохранить чистоту в чистой комнате класса 100
Если вы управляете чистой комнатой класса 100, вы уже знаете, каковы трудности: один-единственный крошечный пылинка или осколок материала может разрушить ваши полупроводниковые пластины. Это очень раздражает. Большинство нагревательных элементов представляют собой проблему — они выделяют газы или частицы именно в тот момент, когда это совсем не нужно.
Мы нашли лучший способ. Мы используем инфракрасные лампы из высокочистого кварца, сочетая их с проводкой, изолированной тефлоном. Это просто, но эффективно.
Почему мы выбрали высокочистый кварц
Мы использовали синтетический фусированный кремний для корпусов ламп. Почему? Потому что он не разрушается при высоких температурах. Обычное стекло при нагревании и охлаждении выделяет микроскопические частицы. Но кварц остается неизменным. Он позволяет инфракрасному излучению проходить прямо к поверхности обрабатываемого материала, не нагреваясь сам. Никаких отклонений. Только чистое, прямое тепло.
Не забывайте про проводку
Лампа — это лишь половина решения. Большинство людей игнорируют проводку, но именно она часто становится причиной проблем в чистой комнате. Если использовать обычную ПВХ-проводку, тепло со временем разрушит изоляцию. Это приведет к выделению летучих органических соединений в вакуум или воздух. Это по сути способ загрязнения.
Поэтому мы используем проводку, покрытую ПТФЭ (тефлоном). Она химически инертна, не разрушается и не выделяет паров, даже при высоких температурах.
Реальность инженерных решений
Эти высокоинтенсивные лампы отлично справляются со своей задачей — быстро нагреваясь. Но это имеет свои недостатки. Нужно тщательно продумать всю систему. Крепления ламп должны быть надежными, а поток воздуха для охлаждения — оптимальным. Если воздух не циркулирует достаточно хорошо, даже тефлон может разрушиться. Вы не хотите, чтобы изоляция сломалась через полгода из-за проблем с охлаждением.
Мы разработали эти устройства так, чтобы их можно было легко заменить на существующие устройства. Достаточно просто подключить их, настроить контроллер PID, и все будет работать как надо. Ваша производственная линия останется чистой, и вам больше не придется беспокоиться о загрязнении.