Почему мы переходим на использование инфракрасного обработчика для производства чипов без олова
Способы производства полупроводников меняются. Мы постепенно отказываемся от старых методов сушки, основанных на использовании растворителей, а также от материалов, содержащих олово. Для нас это означает активное использование инфракрасного обработчика.
В чем разница? Инфракрасные лампы воздействуют непосредственно на поверхность пластины. Представьте себе конвекционную печь: чтобы добиться нужной температуры, необходимо нагреть всю воздушную среду в помещении. Это потеря времени и значительная трата энергии. Инфракрасные лампы направляют энергию прямо туда, где она нужна. Это более эффективный и быстрый способ обработки.
Научная составляющая (упрощенно)
Принцип работы заключается в следующем: мы выбираем такой спектр излучения лампы, который соответствует способности материала пластины поглощать энергию. С помощью коротковолновых или средневолновых излучателей можно за считанные секунды нагреть слои клея или фоторезиста.
Не нужно ждать, пока огромная печь достигнет нужной температуры. Все происходит автоматически.
Что касается экологичности, то здесь речь идет о выведении из процесса использования различных растворителей. Энергия инфракрасных ламп сама по себе способствует полимеризации и испарению веществ. Нам больше не нужны химические катализаторы, содержащие тяжелые металлы. Таким образом, процесс становится более экологичным.
Сложности
Однако все не так просто. Если вы переходите на использование инфракрасных ламп, вам придется пересмотреть систему охлаждения. Эти лампы выделяют большое количество тепла в небольшом пространстве. Если система охлаждения не настроена правильно, может возникнуть проблема: края пластины могут быть повреждены, а сама лампа — разрушена. Необходимо поддерживать точный баланс.
Поэтому мы всегда рекомендуем использовать точные контроллеры PID. Нельзя допускать резких изменений мощности излучения, иначе тонкий слой на поверхности пластины может быть уничтожен, прежде чем вы это заметите.
Как это выглядит на практике
Самое хорошее то, что такие системы можно установить в тех местах, где раньше находились старые системы охлаждения. Это позволяет освободить дополнительное пространство и снизить расходы на электроэнергию. К тому же, поскольку горячий воздух не распространяется повсюду, не нужно беспокоиться о попадании частиц на поверхность пластины. Все остается чистым. Это делает весь процесс более эффективным.