Na powierzchni płyty znajduje się płytko o średnicy 12 cali, która czeka na proces utwardzania fotoogniw. Wiesz, jak ważny jest ten proces – nawet niewielka różnica temperatury na powierzchni może wpłynąć negatywnie na jakość produktu. Potrzebna jest więc temperatura, która zostanie dostarczona szybko i równomiernie, bez powstawania żadnych niepożądanych efektów.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Nasze lampy o krótkich falach podczerwieni emitują ciepło bezpośrednio na fotoogniwa i podłoże – nie trzeba czekać na konwekcję. Maksymalna intensywność emisji w tym zakresie sprawia, że ciepło jest skutecznie wchłaniane przez materiały organiczne i krzem. Dzięki temu można osiągnąć pożądaną temperaturę w mniej niż 30 sekund. Jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność wynosi ponad ±0,2°C pomiędzy poszczególnymi procesami.
Strefa czystości klasy 1–100 pozostaje nienaruszona. Konstrukcja kwarcowego obudowania i reflektorów zapewnia, że żadne cząsteczki nie dostaną się do procesu. Wydajność lampy pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin, przy spadku wydajności poniżej 5%.
Dlaczego to działa w litografii? W litografii proces delikatnego utwardzania służy do ustalenia profilu rozpuszczalnika, natomiast intensywne utwardzanie służy do utrwalenia obrazu na płytkie. Dzięki lampom SWIR można usunąć rozpuszczalnik bez uszkadzania warstwy pokrywającej płytkę, co zmniejsza powstawanie fal stojących i innych problemów. Reakcja lampy jest szybka, więc czas przerwy między procesami jest krótszy, a czas całego procesu zmniejsza się – bez utraty kontroli nad kluczowymi wymiarami płytki.
Podgrzewanie odbywa się tylko w momencie potrzeby, więc zużycie energii jest mniejsze. Wynikiem jest mniej konieczności przeprowadzania korekty, stabilna jakość produktu oraz możliwość planowania zużycia energii.
Na co należy zwrócić uwagę? Instalacja lamp wymaga precyzyjnego ustawienia optycznego oraz zachowania odpowiedniej odległości między lampami. Błędy w tych ustawieniach mogą doprowadzić do powstawania punktów o wysokiej temperaturze. Intensywność światła lamp SWIR jest wysoka, więc niezbędne są mechanizmy bezpieczeństwa dla operatora.
Lampy pasują do standardowych interfejsów urządzeń半导体owych, ale przy ich integracji należy uwzględnić kwestie odprowadzania spalin, chłodzenia oraz stabilności napięcia. Dzięki temu jednorodność temperatury pozostaje w normie.