Jak prawidłowo wykonać proces utwardzania płytek krzemowych: sekret tkwi w reflektorach
Jeśli pracujesz z procesem utwardzania płytek krzemowych, doskonale znasz te trudności. Konieczne jest, aby gradienty temperatury były idealne. Aby to osiągnąć, łączymy lampy podczerwone krótkofalowe z specjalnymi reflektorami.
W nowoczesnych fabrykach wszyscy mówią o cieple sterowanym za pomocą danych. Ale to tylko marzenie, jeśli energia rozprzestrzenia się we wszystkich kierunkach, jak w przypadku uszkodzonego systemu podlewania.
Przestań marnować energię
Reflektor może służyć jako narzędzie do kształtowania wiązki światła. Bez niego duża część promieniowania podczerwonego ginie w obudowie maszyny. To po prostu marnowana energia. Dzięki skupieniu promieniowania bezpośrednio na płytkach krzemowych uzyskujemy większą gęstość ciepła tam, gdzie to naprawdę istotne. Najlepsze jest to, że możemy zmniejszyć moc lampy, a i tak osiągnąć wymaganą szybkość utwardzania. To po prostu bardziej efektywne.
Oczywiście powłoka musi być doskonała. Zwykle używamy powłok ze złota lub aluminium, ponieważ one najlepiej radzą sobie z krótkofalowym promieniowaniem podczerwonym. Ale musimy uważać na nie – jeśli powłoka zacznie się łuszczyć lub utleniać, równomierność temperatury zostanie zaburzona.
Stworzenie więcej przestrzeni
Wszyscy chcą mniejszej powierzchni zajmowanej przez urządzenia oraz lepszych wyników pomiarowych. Gdy reflektory dobrze funkcjonują, nie potrzebujemy tylu lamp, by osiągnąć zamierzony efekt. To daje więcej przestrzeni dla sensorów i przewodów PLC. Ponadto, ponieważ cała komora nie jest przegrzewana, systemy chłodzenia nie muszą tak ciężko pracować, aby utrzymać stabilne warunki.
Ale uważaj: wyższa gęstość promieniowania oznacza większe ryzyko powstania miejsc o wysokiej temperaturze. Musisz upewnić się, że kontrolery PID są dostrojone tak, aby reagować szybko na zmiany temperatury. Jeśli geometria reflektora jest zbyt agresywna, płytki krzemowe mogą zostać uszkodzone, zanim sensory zdążą zauważyć problem.
Utrzymanie ciągłości procesu
Projektowaliśmy te reflektory tak, aby można je było łatwo zastąpić. Z czasem każdy reflektor traci swój blask – zwykle z powodu uwalniania gazów lub zwykłej kontaminacji. W takim przypadku wystarczy go zastąpić. Nie trzeba spędzać całego dnia na ponownej kalibracji całego układu grzewczego.
Upewnij się tylko, że reflektor jest dobrze ustawiony. To jedyny sposób, aby to, co widzisz w swoim cyfrowym odpowiedniku, rzeczywiście odpowiadało temu, co dzieje się w praktyce.