Houd je Class 100-schoonruimte echt schoon
Als je een Class 100-schoonruimte beheert, ken je vast het probleem: één klein stofdeeltje of een losse deeltje materiaal kan al voldoende zijn om je halfgeleiderplaten te beschadigen. Dat is frustrerend. De meeste verhittingselementen vormen ook een risico, want ze geven gas af of scheiden deeltjes af op het moment dat ze juist stabiel moeten blijven.
Wij hebben een betere oplossing gevonden. We gebruiken infraroodlampen gemaakt van hoogzuiver kwarts, in combinatie met bedrading die is geïsoleerd met Teflon. Het is eenvoudig, maar het werkt wel.
Het voordeel van hoogzuiver kwarts
We hebben gekozen voor synthetisch gefuseerd silica voor de lampen. Waarom? Omdat dit materiaal niet reageert bij hoge temperaturen. Standaard glas geeft namelijk microscopische deeltjes af wanneer het wordt verhit en afgekoeld. Maar dit kwarts blijft op zijn plek. Hierdoor kan het infraroodlicht rechtstreeks door het materiaal heen gaan, zonder dat het zelf te heet wordt. Geen deeltjes, geen problemen. Gewoon schone, directe hitte.
Vergeet de bedrading niet
Het lampje is maar de helft van het verhaal. Veel mensen negeren de bedrading, maar dat is meestal waar de schoonruimte faalt. Als je standaard PVC-bedrading gebruikt in semiconductuurapparatuur, zal de hitte uiteindelijk de isolatie kapotmaken. Er komen dan vluchtige organische verbindingen vrij in het vacuüm of de lucht. Dat is eigenlijk een manier om de ruimte te vervuilen.
Daarom gebruiken we bedrading die is bedekt met PTFE (Teflon). Dit materiaal is chemisch inert. Het degeneert niet en lekt geen gassen, zelfs niet wanneer het heet wordt.
De realiteit van de techniek
Deze hoge-intensiteitslampen zijn goed, want ze kunnen snel veel warmte genereren – precies wat nodig is voor de verwerking van halfgeleiderplaten. Maar deze kracht heeft ook nadelen. Je moet goed nadenken over de installatie. De bevestigingsonderdelen mogen geen deeltjes afgeven, en de koelingsluchtstroom moet perfect zijn. Als de lucht niet voldoende stroomt, heeft zelfs Teflon zijn grenzen. Je wilt natuurlijk niet dat de isolatie na zes maanden al kapotgaat door een probleem met de koeling.
We hebben deze apparaten zo ontworpen dat ze gemakkelijk als vervanging kunnen dienen voor je bestaande apparatuur. Je hoeft ze alleen maar aan te sluiten, de PID-controller in te stellen, en de quartzlampen laten doen wat ze moeten doen. Je productielijn blijft schoon, en je hoeft je geen zorgen meer te maken over vervuiling door deeltjes.