Op de verpakkingslijn is zelfs maar een beetje overtollige vochtigheid na het reinigen voldoende om problemen als delaminatie en fouten bij het verbinden van componenten te veroorzaken. In een fabriek die 24/7 draait, zijn thermische schommelingen en ongewenste deeltjes geen ‘risico’s’, maar eerder obstakels voor het productieproces. De droogingsprocedure moet dus betrouwbaar, snel en nauwkeurig zijn – elke keer opnieuw, voor elke partij producten.
Wat belangrijk is Wir bouwen het droogingsproces rondom twee belangrijke aspecten: uniformiteit op het niveau van de wafer en strenge hygiënestandarden in de productieruimte. Het systeem houdt de gewenste temperatuur binnen ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer, zodat de kwaliteit van de fotorezyst niet wordt aangetast. Het systeem werkt in omgevingen van klasse 1–100, waarbij er geen ongewenste deeltjes worden gegenereerd. De levensduur van de componenten is meer dan 10.000 uur, en de prestaties blijven stabiel zelfs na duizenden thermische cycli. De betrouwbaarheid wordt bereikt door gebruik te maken van gesloten regelingssystemen, traceerbare procedures en precisiemetingen van het thermische veld.
Dit maakt het mogelijk om in een verpakkingsfabriek te werken: throughput en yield zijn de enige belangrijke indicatoren. Deze aanpak zorgt ervoor dat de wafers snel drogen, zonder dat er te veel energie wordt verbruikt. Hierdoor kan men kleinere componenten gebruiken en kan het proces efficiënter worden uitgevoerd. De energieverbruik neemt af dankzij nauwkeurige regelingen en minimale verliezen tijdens het wachten. De betrouwbaarheid zorgt er bovendien voor dat er geen onverwachte stilstanden optreden. Er is geen noodzaak om snel te reageren of de productielijn stil te zetten. Er wordt consequent vocht verwijderd, waardoor de hechting tussen componenten stabiel blijft – partij na partij.
Er zijn echter ook enkele cruciale punten die niet genegeerd mogen worden. Het systeem heeft een stabiele stroomvoorziening nodig, evenals een goede afvoersysteem. Zonder goede grondingsinstallaties en propere ventilatie kunnen elektromagnetische storingen en turbulentie leiden tot microtrillingen, waardoor de precisie van het proces wordt beïnvloed.
Voor de integratie van het systeem is het ook nodig om de thermische eigenschappen van de verschillende onderdelen te meten. Verschillende onderdelen reageren namelijk anders op temperatuurschommelingen. Als dit goed wordt gemeten, kan het proces nauwkeurig worden gecontroleerd. Maar deze configuratie is absoluut essentieel.