Menjaga Kebersihan Bilik Bersih Kelas 100
Jika anda mengendalikan bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa susahnya untuk memastikan bilik tersebut tetap bersih. Sebarang zarah debu yang kecil atau serpihan bahan yang terlepas boleh merosakkan wafer semikonduktor. Ini sangat menyusahkan. Kebanyakan komponen pemanasan juga merupakan sumber masalah, kerana ia akan mengeluarkan gas atau zarah-zarah tertentu pada masa yang tidak sesuai.
Kami telah mencari cara yang lebih baik. Kami menggunakan lampu inframerah yang diperbuat daripada kuarsa berkualiti tinggi, dan digabungkan dengan wayar yang dilapisi Teflon. Cara ini mudah, tetapi sangat berkesan.
Kelebihan Kuarsa Berkualiti Tinggi
Kami memilih kuarsa sintetik untuk membungkus lampu tersebut. Mengapa? Kerana kuarsa ini tidak mudah rosak akibat suhu yang tinggi. Kaca biasa pula cenderung untuk mengeluarkan zarah-zarah halus ketika dipanaskan atau disejukkan. Namun, kuarsa ini tetap stabil, membolehkan radiasi inframerah menembusi permukaan wafer tanpa membuatnya terlalu panas. Tiada zarah yang terlepas, hanya haba yang bersih sahaja.
Jangan Lupa Tentang Wayarnya
Lampu hanyalah separuh daripada penyelesaian. Kebanyakan orang mengabaikan aspek wayar, padahal inilah punca utama masalah di bilik bersih. Jika anda menggunakan wayar PVC biasa, haba akan merosakkan lapisan isolasi wayar tersebut. Ini akan menyebabkan pelepasan bahan organik volatil ke dalam udara. Ini merupakan cara yang efektif untuk mencemarkan bilik bersih.
Itulah sebabnya kami menggunakan wayar yang dilapisi PTFE (Teflon). Ia tidak mudah rosak secara kimia, dan tidak akan melepaskan bahan berbahaya walaupun pada suhu yang tinggi.
Realiti Teknologi Ini
Lampu berintensiti tinggi ini memang bagus, kerana ia dapat meningkatkan suhu dengan cepat—ini memang apa yang diperlukan untuk proses pemprosesan wafer. Namun, kemampuan ini mempunyai kelemahannya sendiri. Anda perlu berhati-hati dalam penyambungan wayar tersebut. Bracket yang digunakan haruslah tahan terhadap kehilangan zarah, dan aliran udara untuk penyejukan juga perlu tepat. Jika aliran udara tidak mencukupi, walaupun Teflon sekalipun boleh rosak. Anda tentu tidak mahu lapisan isolasi tersebut rosak setelah beberapa bulan penggunaan disebabkan masalah penyejukan.
Kami merancang unit ini agar mudah digantikan dengan alat-alat sedia ada. Anda hanya perlu menyambungkannya, menetapkan tetapan PID, dan biarkan lampu kuarsa melakukan tugasnya. Dengan cara ini, barisan pengeluaran anda akan tetap bersih, dan anda tidak perlu risau lagi tentang masalah pencemaran akibat zarah-zarah kecil.