생체 센서 제조용 적외선 램프

웨이퍼 제조 과정에서는 오차가 용납되지 않습니다. 포토레지스트의 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 열 관리가 매우 중요하며, 단 몇 도만큼의 오차가 생겨도 마이크로유체 채널과 센싱 층의 형상이 제대로 유지되지 않습니다. 적외선 가열 방식도 가능하지만, 램프가 일관...