글러브박스 내의 열 낭비를 막으세요
만약 글러브박스 안에서 실리콘 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 일반적인 석영 램프는 열을 사방으로 방출합니다. 그 결과 에너지의 절반이 낭비되어, 웨이퍼가 아닌 글러브박스의 벽이나 내부 구조물들이 따뜻해집니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라 설비 관리에도 문제가 됩니다.
우리는 금으로 코팅된 반사체를 추가함으로써 이 문제를 해결했습니다. 이 반사체 덕분에 열이 흩어지는 대신 다시 웨이퍼 쪽으로 반사됩니다.
왜 금인가요?
간단합니다. 금은 적외선을 매우 효과적으로 반사합니다. 반사체 뒷면에 얇고 고순도의 금 층을 추가함으로써, 훨씬 더 많은 에너지를 웨이퍼 쪽으로 전달할 수 있습니다. 그 결과 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 시간이 줄어듭니다. 전기를 절약할 뿐만 아니라 시간도 절약됩니다.
중요한 부분을 시원하게 유지하기
글러브박스는 공간이 좁습니다. 열 손실을 보상하기 위해 램프에 너무 많은 에너지를 공급하면, 챔버의 다른 부분들도 너무 뜨거워집니다. 하지만 금 코팅 덕분에 에너지가 정확하게 웨이퍼 쪽으로 집중되므로, 과도한 전력 공급이 필요하지 않습니다. 그 결과 웨이퍼에만 열이 집중되고, 나머지 부분들은 그대로 남아 있습니다.
유의해야 할 몇 가지 사항
물론 이것은 마법은 아닙니다. 몇 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 열이 너무 집중되기 때문에, 적절한 위치가 좁아집니다. 웨이퍼가 정확한 초점 위치에 있지 않으면, 열 분포가 고르지 않아집니다. 따라서 Z축 위치를 매우 정확하게 조절해야 합니다.
또한 금은 조금 까다로운 재료입니다. 만약 공정 중에 부식성 가스가 사용된다면, 그 화학물질들이 금 코팅을 손상시켜 금이 갈거나 벗겨질 수 있습니다. 그런 경우에는 반사체를 보호해주면 됩니다.
사용 방법
이 제품들은 기존의 적외선 배열을 간단하게 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 고전류가 흐를 때도 단자가 손상되지 않도록 튼튼한 커넥터가 사용되었습니다. PID 컨트롤러와 연동하여 온도를 조절하면, 즉시 차이를 느낄 수 있습니다. 한 번의 처리 시간이 훨씬 짧아집니다.