Come mantenere una sala pulita di classe 100 realmente pulita
Se gestite una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete quel problema insidioso: basta un piccolissimo granello di polvere o un frammento di materiale per rovinare le vostre wafer semiconduttrici. È frustrante. La maggior parte degli elementi riscaldanti rappresenta un problema, poiché emettono gas o particelle proprio nel momento in cui è necessario che siano stabili.
Abbiamo trovato un modo migliore: utilizziamo lampade a infrarossi in quarzo ad alta purezza, abbinandole a cavi isolati con materiale Teflon. È semplice, ma funziona.
Il vantaggio del quarzo ad alta purezza
Abbiamo scelto il quarzo sintetico per gli involucri delle lampade. Perché? Perché non subisce variazioni significative a temperature elevate. Il vetro standard, invece, tende a rilasciare particelle microscopiche durante il riscaldamento e il raffreddamento. Il quarzo, invece, rimane stabile: permette alle radiazioni infrarosse di passare direttamente sul substrato, senza surriscaldarsi. Nessuna perdita di particelle, solo calore pulito e diretto.
Non dimenticate i cavi
Il problema è che la lampada è soltanto metà della soluzione. Molti trascurano i cavi, ma è proprio lì che spesso si verificano problemi nella sala pulita. Se si utilizzano cavi standard in PVC, il calore alla fine distrugge l’isolamento dei cavi. Questo provoca la libera emissione di composti organici volatili nell’ambiente. In pratica, diventa uno strumento di contaminazione.
Ecco perché utilizziamo cavi rivestiti in PTFE (Teflon). Sono chimicamente inerti: non degenerano e non emettono fumi, anche quando le condizioni diventano estreme.
La realtà ingegneristica
Queste lampade ad alta intensità sono ottime, poiché riescono a generare calore rapidamente, proprio ciò di cui hanno bisogno i processi di lavorazione dei semiconduttori. Ma questa potenza comporta dei rischi. Bisogna essere molto attenti nella configurazione: i supporti utilizzati devono essere resistenti, e il flusso d’aria di raffreddamento deve essere ottimale. Se l’aria non circola correttamente, anche il Teflon può cedere. Non vogliamo certo che l’isolamento dei cavi si deteriori dopo sei mesi a causa di problemi di raffreddamento.
Abbiamo progettato questi dispositivi in modo che possano essere sostituiti facilmente ai vecchi strumenti esistenti. Basta collegarli, impostare il controllore PID e lasciare che le lampade fanno il lavoro pesante. La vostra linea di produzione rimarrà pulita, e non dovrete più preoccuparvi di contaminazioni da particelle.