अपने वेफरों के तापमान का अनुमान लगाना बंद करें।
यदि आप एक “स्मार्ट फैब” बना रहे हैं, तो आपको पुराने कॉन्टैक्ट थर्मोकपलों का उपयोग बंद करना ही होगा। ऐसे उपकरण अब काम नहीं करते। वेफरों के तापमान मापन हेतु हम उच्च-गति वाले इन्फ्रारेड सेंसरों का उपयोग करते हैं। इससे हमें बिना सब्सट्रेट को छुए ही वास्तविक समय में तापमान संबंधी जानकारी प्राप्त हो जाती है।
यदि आप चाहते हैं कि आपका “डिजिटल ट्विन” वास्तविक दुनिया में होने वाली घटनाओं के अनुरूप हो, तो आपको निरंतर उच्च-आवृत्ति वाले डेटा की आवश्यकता है। गैर-संपर्कीय सेंसिंग ही ऐसा करने का एकमात्र तरीका है।
इन्फ्रारेड सेंसरों की विशेषताएँ
यह सब प्लैंक के नियम पर आधारित है – अर्थात् इन्फ्रारेड विकिरण को तापमान में परिवर्तित करना। लेकिन यहाँ एक समस्या है – सिलिकॉन या GaAs के लिए उचित एमिसिविटी सेटिंग्स आवश्यक हैं। यदि ऐसा न हो, तो आपका डेटा बेकार ही हो जाता है।
चीजों को सही रखने हेतु हम नैरो-बैंड पायरोमेट्री का उपयोग करते हैं। इससे हीटिंग एलिमेंट्स से आने वाला शोर दूर हो जाता है, और सेंसर केवल वेफर पर ही ध्यान केंद्रित कर पाता है।
डेटा को वास्तव में उपयोगी बनाना
ये सिर्फ शेल्फ पर रखे गए साधारण उपकरण नहीं हैं। हम ऐसे सेंसरों को इस तरह डिज़ाइन करते हैं कि वे कच्चे डिजिटल सिग्नलों को सीधे PLC या SCADA सिस्टम में भेज सकें।
यहीं से चीजें और भी दिलचस्प हो जाती हैं। आपको क्लोज्ड-लूप PID नियंत्रण मिलता है। यदि कहीं गर्मी अधिक हो जाए, तो आप मिलीसेकंडों में ही ऊर्जा स्तर को समायोजित कर सकते हैं। यह बहुत ही तेज़ है।
लेकिन ध्यान रखें – इतना डेटा कमज़ोर नेटवर्क को धीमा कर सकता है। इसलिए आपको उच्च-बैंडविड्थ वाला फील्डबस ही उपयोग में लाना होगा।
नुकसान/चुनौतियाँ
फायदे तो बहुत हैं… लेकिन कुछ चुनौतियाँ भी हैं। इन्फ्रारेड सेंसरों के लिए स्पष्ट दृष्टि-रेखा आवश्यक है। यदि उपकरण का आकार अजीब है, या उसमें कोई आंतरिक सुरक्षा व्यवस्था है, तो सेंसरों को सही जगह पर रखना आवश्यक है।
और फिर… यदि व्यवस्था के कारण व्यूपॉइंट धुंधला हो जाए, तो सेंसरों से प्राप्त डेटा भी गलत हो जाएगा। इसलिए ऑप्टिक्स को साफ रखने हेतु सफाई प्रक्रियाओं की आवश्यकता है।