अपने क्लास 100 क्लीनरूम को वाकई में साफ रखना
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि वहाँ थोड़ी सी धूल भी बहुत बड़ी समस्या बन सकती है… ऐसी स्थिति में आपके सेमीकंडक्टर वेफर नष्ट हो जाते हैं। यह बहुत ही निराशाजनक है। अधिकांश हीटिंग तत्व भी समस्या पैदा करते हैं… क्योंकि वे गर्म होने पर गैसें उत्सर्जित करते हैं, जिससे वेफर खराब हो जाते हैं।
हमने एक बेहतर तरीका खोजा। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं, एवं उन्हें टेफ्लॉन-इन्सुलेटेड वायरिंग के साथ जोड़ते हैं। यह तरीका सरल है, लेकिन प्रभावी है।
उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का लाभ
हमने लैंपों के लिए सिंथेटिक फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग किया… क्योंकि यह उच्च तापमान पर भी नष्ट नहीं होता। सामान्य काँच गर्म होने एवं ठंडा होने पर सूक्ष्म कण उत्सर्जित करता है… लेकिन यह क्वार्ट्ज ऐसा नहीं करता। यह इन्फ्रारेड विकिरण को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचने देता है… बिना खुद गर्म होने के। कोई कण उत्सर्जित नहीं होता… बस साफ, सीधी ऊष्मा ही प्राप्त होती है।
वायरिंग को भी न भूलें
ध्यान रखें… लैंप ही सब कुछ नहीं है। अधिकांश लोग वायरिंग को नजरअंदाज कर देते हैं… लेकिन अक्सर ही क्लीनरूम इसी वजह से विफल हो जाता है।
यदि आप सेमीकंडक्टर उपकरणों में सामान्य PVC वायरिंग का उपयोग करते हैं, तो गर्मी के कारण उसकी इन्सुलेशन प्रणाली नष्ट हो जाती है… जिससे वायुमंडल में वोलाटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स उत्सर्जित होते हैं… यह तो संदूषण का कारण ही है।
इसीलिए हम PTFE (टेफ्लॉन) लेपित वायरिंग का उपयोग करते हैं… यह रासायनिक रूप से स्थिर है… यह नष्ट नहीं होता, और गर्म होने पर भी कोई गैसें उत्सर्जित नहीं होतीं।
इंजीनियरिंग की वास्तविकता
ये उच्च-तीव्रता वाले लैंप बहुत ही उपयोगी हैं… क्योंकि ये तेजी से ऊष्मा पैदा करते हैं… जो कि वेफर प्रसंस्करण हेतु आवश्यक है। लेकिन इस शक्ति के साथ ही कुछ चुनौतियाँ भी हैं।
आपको इन लैंपों की स्थापना के लिए सावधान रहना होगा… आपके माउंटिंग ब्रैकेट ऐसे होने चाहिए जो कण उत्सर्जित न करें… एवं आपकी कूलिंग प्रणाली भी बेहतर होनी चाहिए। यदि हवा पर्याप्त रूप से न बहे, तो टेफ्लॉन भी नष्ट हो सकता है… आप नहीं चाहेंगे कि 6 महीने बाद ही कूलिंग समस्याओं के कारण आपका क्लीनरूम विफल हो जाए।
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि आप इन्हें अपने मौजूदा उपकरणों के स्थान पर आसानी से लगा सकें… आप बस इन्हें वायर करें, PID कंट्रोलर को सेट करें… और बाकी का काम क्वार्ट्ज लैंप ही करेंगे। आपकी उत्पादन लाइन साफ रहेगी… एवं आपको कण संदूषण की चिंता करने की आवश्यकता ही नहीं होगी।