स्टॉप लैम्प के फटने से आपके वेफरों को होने वाला नुकसान
उच्च मात्रा में उत्पादन होने वाली लाइनों में, लैम्प के फटना एक बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में मशीन कुछ समय के लिए ही बंद रहती है… लेकिन इसके कारण बहुत ही गंदगी फैल जाती है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं हैलोजन गैस वेफरों पर गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में पूरा बैच बर्बाद हो जाता है। इसके बाद पूरे चैंबर की सफाई करनी पड़ती है… जो कि कोई भी व्यक्ति नहीं करना चाहेगा। हम अपने डिजिटल कंट्रोलरों एवं लैम्प सेटअपों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं, ताकि ऐसी स्थितियाँ ही न आएं।
चीजों को ठंडा एवं सुरक्षित रखना
ज्यादातर लैम्प थर्मल शॉक या अत्यधिक गर्मी के कारण ही फट जाते हैं। यदि लैम्प पर पूरा वोल्टेज लग जाए, तो क्वार्ट्ज ट्यूब बहुत तेज़ी से फैल जाती है, जिससे वह टूट जाती है। यह तो ठंडे गिलास में गर्म पानी डालने जैसा ही है।
हम ऐसी स्थितियों से बचने हेतु डिजिटल कंट्रोलरों का उपयोग करते हैं… जिससे वोल्टेज में थोड़ा बदलाव होता है। यह एक बेहतर तरीका है।
हम उच्च शुद्धता वाली क्वार्ट्ज ट्यूबों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसी ट्यूबें सस्ती ट्यूबों की तुलना में अधिक गर्मी सह सकती हैं। लेकिन यदि कम लंबाई वाली ट्यूब में अधिक वोल्टेज लगे, तो उस पर बहुत ही दबाव पड़ता है… इसलिए वायुप्रवाह को संतुलित रखना आवश्यक है। यदि ट्यूब का कोई हिस्सा बाकी हिस्सों की तुलना में तेज़ी से ठंडा हो जाए, तो वहाँ दबाव पड़ता है… और यहीं पर ट्यूब टूट जाती है।
संदूषण को रोकना
यदि ट्यूब टूट जाए… तो हम भाग्य पर निर्भर नहीं रहना चाहते। हम भौतिक सुरक्षा उपायों एवं विशेष हाउजिंग का उपयोग करके लैम्प को सुरक्षित रखते हैं। यदि कुछ टूट जाए, तो उसके टुकड़े वहीं ही रह जाते हैं… वे वेफरों पर नहीं गिरते।
इसके अलावा, हम विद्युत संबंधी समस्याओं से बचने हेतु विशेष कनेक्टरों का उपयोग करते हैं। ऐसे कनेक्टरों के कारण विद्युत धारा संतुलित रहती है… जिससे लैम्प का तापमान भी स्थिर रहता है। ऐसे में लैम्प को सही तापमान खोजने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती… जिससे ट्यूब टूटने से बच जाती है।