בקו הייצור, שינויים תרמיים אינם מתבטאים באורות אזהרה. הם מתבטאים בירידה באיכות המוצר ובחוסר יציבות בשליטה על מיקום החלקיקים. נורות RTP של Mattson...

בפועל, סטיית הטמפרטורה אינה עניין של מחקר מעבדתי – זו בעיה אמיתית שצריך לפתור. כאשר משתמשים ב-RTP, על הנורה ההלוגנית לספק חום באופן עקבי ומהיר, מבלי...