כיצד לשמור על חדר נקי מסוג Class 100 נקי אכן
אם אתם מנהלים חדר נקי מסוג Class 100, אתם בוודאי מכירים את הבעיה: גרגיר אבק קטן אחד או חתיכה קטנה של חומר יכולים להרוס את שבבי הסמיקונדקטורים שלכם. זה מעצבן מאוד. רוב אלמנטי החימום הם בעייתיים, מכיוון שהם פולטים חומרים ברגע שצריך שהם יהיו יציבים.
מצאנו פתרון טוב יותר. אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מקוורץ ברמת טוהר גבוהה, ומשלבים אותן עם חוטי חשמל ממוגנים ב-Teflon. זה פשוט, אך זה עובד.
היתרונות של קוורץ ברמת טוהר גבוהה
בחרנו בסיליקה סינתטית ליצירת גוף הנורה. למה? מכיוון שהיא אינה מגיבה לטמפרטורות גבוהות. זכוכית רגילה נוטה לפלוט חלקיקים זעירים כשהיא מתחממת ומתקררת. אך הקוורץ נשאר במקומו. הוא מאפשר לקרינת האינפרא-אדום לעבור דרכו ללא שהוא עצמו יתחמם יותר מדי. אין פליטה של חלקיקים – רק חום נקי וישיר.
אל תשכחו את חוטי החשמל
הנורה היא רק חצי מהסיפור. רוב האנשים מתעלמים מחוטי החשמל, אך זו בדרך כלל הנקודה שבה חדר הנקי נהרס. אם אתם משתמשים בחוטי PVC רגילים בציוד לעיבוד סמיקונדקטורים, החום עלול לפגוע בחומרי הבידוד. זה גורם לפליטה של חומרים אורגניים רעילים לאוויר. זו בעצם מכונה לזיהום.
לכן אנו משתמשים בחוטי חשמל מצופים ב-PTFE (טפלון). הם אינרטיים מבחינה כימית – הם אינם נהרסים, ואינם פולטים עשנים, אפילו כשהטמפרטורות גבוהות.
המציאות של ההנדסה
נורות אלו הן מצוינות, מכיוון שהן מסוגלות להגדיל את החום במהירות – דבר שהכרחי לעיבוד שבבי סמיקונדקטורים. אך יש לכך חסרונות. יש להיות זהירים בהרכבתן. חלקי ההרכבה צריכים להיות עמידים, וזרימת האוויר לקירור צריכה להיות מדויקת. אם האוויר לא זורם מספיק, אפילו טפלון עלול להיהרס. אינכם רוצים שחומרי הבידוד שלכם ייהרסו לאחר שישה חודשים בגלל בעיות בקירור.
עיצבנו את המכשירים האלו כך שניתן יהיה להחליף אותם בקלות בציוד הקיים שלכם. כל מה שצריך לעשות זה לחבר אותם, להגדיר את הפרמטרים של הבקר, ולאפשר לנורות הקוורץ לעשות את העבודה. כך קו הייצור שלכם יישאר נקי, ואתם לא תצטרכו לדאוג יותר לזיהום על ידי חלקיקים.