על גבי שטח הייצור, נמצא וופר בגודל 12 אינץ’, המחכה לתהליך החימום של הפוטורזיסט. אתם יודעים מה קורה אם יש שינוי של 1°C בטמפרטורה – זה פוגע בשליטה בעובי השכבה ובאיכות המוצר. מה שנדרש זה חימום מהיר, שיאפשר לחימום להישאר ברמה הרצויה, מבלי לגרום לתנועה של אף חלקיק.
מה חשוב מבחינה טכנית? המנורות שלנו בטווח האינפרא-אדום הקצר מספקות חימום ישיר לפוטורזיסט ולמשטח שעליו הוא נמצא – בלי צורך בהמתנה לחימום על ידי זרימת אוויר. עוצמת הפליטה של המנורות מותאמת כך שתאפשר ספיגה טובה של החום בשכבות האורגניות ובסיליקון. כך ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה תוך פחות מ-30 שניות. האחידות בטמפרטורה לאורך הוופר נשארת בטווח של ±0.1°C, והשגרירות של התהליך טובה יותר – בטווח של ±0.2°C בין סיבובי הייצור השונים.
תנאי החדר הנקי מסוג 1–100 נשמרים. המבנה של המנורות והמחזירים מותאם כך שלא ייכנסו חלקיקים לתהליך הייצור. הפליטה של המנורות נשארת יציבה לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5%.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה? בליתוגרפיה, החימום הרגוע מאפשר להסיר את הממס בצורה יעילה; החימום האינטנסיבי מאפשר לקבע את התמונה על השטח. באמצעות מנורות SWIR, ניתן להסיר את הממס בצורה יעילה, מבלי לפגוע בשכבה עצמה. זה מפחית את הגלים הסטטיים ואת ההפרעות האחרות. התגובה של המנורות מהירה, כך שזמן ההמתנה בין סיבובי הייצור קצר יותר – מבלי לפגוע בשליטה בממדים החשובים של המוצר.
החימום נעשה רק כשצריך, ולא כל הזמן, כך שצריכת האנרגיה פוחתת. התוצאה היא פחות צורך בעבודה חוזרת, ביצועים יציבים של המוצר, ואפשרות לתכנן את צריכת האנרגיה.
על מה צריך לשים לב? ההתקנה תלויה בהתאמה האופטית ובמרחק בין המנורות לבין השטח שעליו הן פועלות. אם זה לא נעשה כראוי, עלולים להיווצר אזורים חמים. עוצמת האור של המנורות גבוהה, לכן חיוניים מנגנוני בקרה והגנה לשמירה על בטיחות המפעילים.
המנורות מתאימות לפריטי הציוד הסטנדרטיים לייצור שבבים, אך יש להתחשב בנושאי פליטת אוויר, קירור ויציבות המתח. אם דברים אלו נשמרים, האחידות בטמפרטורה נשארת בטווח הרצוי.