Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous gérez une salle propre de classe 100, vous connaissez bien le problème : une seule petite particule de poussière ou un morceau de matériau égaré peut détruire vos wafers de semi-conducteurs. C’est frustrant. La plupart des éléments chauffants représentent également un risque, car ils libèrent des gaz ou des particules au moment même où on a besoin qu’ils restent stables.
Nous avons trouvé une solution meilleure. Nous utilisons des lampes infrarouges en quartz de haute pureté, accompagnées de câbles isolés en Téflon. C’est simple, mais ça fonctionne.
Les avantages du quartz de haute pureté
Nous avons choisi du silice synthétique pour les enveloppes des lampes. Pourquoi ? Parce que ce matériau ne subit pas d’altérations à haute température. Le verre ordinaire, quant à lui, libère des particules microscopiques lorsqu’il se réchauffe ou se refroidit. Mais le quartz reste stable. Il permet aux rayons infrarouges de passer directement jusqu’au substrat, sans se surchauffer lui-même. Pas de dégradation, pas de particules en trop. Juste de la chaleur pure et efficace.
N’oubliez pas les câbles
Le problème, c’est que la lampe n’est que la moitié de l’équation. La plupart des gens négligent les câbles, mais c’est généralement là que la salle propre échoue. Si vous utilisez des câbles en PVC standard dans des outils de fabrication de semi-conducteurs, la chaleur finit par endommager l’isolation. Cela provoque alors la libération de composés organiques volatils dans le vide ou dans l’air. En somme, c’est comme avoir une machine de contamination.
C’est pourquoi nous utilisons des câbles recouverts de PTFE (Téflon). Ce matériau est chimiquement inerte. Il ne se dégrade pas et ne libère aucune fumée, même lorsque les températures sont élevées.
La réalité de l’ingénierie
Ces lampes à haute intensité sont excellentes, car elles permettent d’augmenter rapidement la température – ce dont les processus de fabrication de semi-conducteurs ont besoin. Mais cette puissance comporte des inconvénients. Il faut être prudent dans leur installation. Les supports doivent être résistants, et le flux d’air de refroidissement doit être parfait. Si l’air ne circule pas suffisamment, même le Téflon peut se détériorer. Vous ne voulez certainement pas que votre système d’isolation tombe en panne après six mois à cause d’un problème de refroidissement.
Nous avons conçu ces unités pour qu’elles puissent remplacer facilement vos équipements existants. Il suffit de les brancher, de régler le contrôleur PID, et les lampes en quartz s’occuperont du reste. Votre ligne de production restera propre, et vous n’aurez plus à vous soucier de la contamination par des particules.