Sur le plan de fabrication, les écarts thermiques ne se manifestent pas par une lumière d’alerte. Ils se traduisent plutôt par une perte de rendement et par des fluctuations dans le contrôle de la déflection optique. Les lampes Mattson RTP sont conçues pour maintenir les étapes de séchage et de cuisson du photorésistant dans les limites prévues par les spécifications thermiques – c’est-à-dire là où elles doivent être.
Ce qui est important en réalité Nous utilisons des lampes halogènes à infrarouges à ondes courtes, dotées d’un enveloppe en quartz. Ces lampes permettent une montée en température rapide, ainsi qu’un état stable et répétable. Cela assure une uniformité de température de ±0,1°C sur toute la surface de la wafer pendant tout le processus. De plus, ces lampes garantissent une stabilité de leur puissance de sortie sur des milliers d’heures d’utilisation ; nous avons des unités fonctionnant depuis plus de 5 000 heures, avec moins de 5% de diminution de la puissance de sortie. Comme ces lampes ne produisent pas de particules lors de leurs cycles de fonctionnement, le nombre de particules dans la salle propre reste dans les limites prévues pour la classe 1–100.
Pourquoi c’est important en lithographie Dans une ligne de lithographie, il est nécessaire d’avoir un processus de chauffage doux qui permette d’éliminer efficacement les solvants, ainsi qu’un processus de chauffage intense qui permette de fixer le photorésistant sans provoquer de déviations. Ces lampes garantissent cette répétabilité. Elles permettent également un séchage rapide et uniforme de la wafer, ce qui réduit le nombre de lots invendables, les retouches nécessaires, et la consommation d’énergie par lot, grâce à un couplage radiatif efficace et à un temps de stabilisation rapide.
Les détails importants lors de l’installation L’installation est simple, mais il est nécessaire de vérifier l’orientation des lampes et l’alignement des réflecteurs lors du remplacement. Un mauvais alignement peut provoquer des points chauds locaux et des écarts thermiques. Assurez-vous que le connecteur de base, la tension électrique et le système de refroidissement correspondent à ceux de votre chambre de fabrication. Planifiez également des inspections optiques régulières. En détectant tôt le moment où les lampes atteignent la fin de leur vie utile, on évite les problèmes liés au contrôle du processus.