نگهداری اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰ در حالت تمیز
اگر شما صاحب یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ هستید، قطعاً میدانید که چقدر این موضوع نگرانکننده است: حتی یک ذره گرد و غبار کوچک یا یک تکه کوچک از مواد مختلف، میتواند باعث از بین رفتن ویفرهای نیمههادی شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است. اکثر عناصر گرمایشی نیز مشکلاتی ایجاد میکنند؛ زیرا در لحظاتی که نیاز به پایداری آنها است، گازهای سمی تولید میکنند یا ذراتی را از خود دفع میکنند.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ از لامپهای مادون قرمز ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم، و آنها را با سیمهای عایقبندی شده با تفلون ترکیب میکنیم. روش سادهای است، اما مؤثر است.
مزایای کوارتز با خلوص بالا
ما از سیلیکا مصنوعی برای ساخت پوشش لامپها استفاده کردیم. چرا؟ چون در دماهای بالا دچار مشکل نمیشود. شیشههای معمولی در حین گرم شدن و سرد شدن، ذرات ریزی را آزاد میکنند؛ اما کوارتز در جای خود باقی میماند. این امر باعث میشود تابش مادون قرمز به راحتی از میان آن عبور کند، بدون اینکه خود کوارتز دچار گرمایش بیش از حد شود. هیچ ذرهای آزاد نمیشود؛ فقط گرمای تمیز و مستقیم وجود دارد.
فراموش نکنید به سیمها توجه کنید
نکته مهم این است که لامپ تنها نیمی از مشکلات را حل میکند؛ بیشتر مردم به سیمها توجه نمیکنند، اما اغلب مشکلات اتاقهای تمیز از همین سیمها نشأت میگیرد. اگر از سیمهای PVC معمولی در دستگاههای نیمههادی استفاده کنید، گرما در نهایت باعث از بین رفتن عایقبندی سیمها میشود؛ در نتیجه، ترکیبات آلی فرار از سیمها آزاد میشوند. این کار در واقع باعث آلودگی اتاق تمیز میشود.
به همین دلیل، ما از سیمهای پوششدار با PTFE (تفلون) استفاده میکنیم. این سیمها از نظر شیمیایی بیاثر هستند؛ دچار فرسودگی نمیشوند، و حتی در دماهای بالا نیز گازی آزاد نمیکنند.
واقعیت مهندسی
لامپهای با توان بالا واقعاً عالی هستند؛ زیرا میتوانند گرما را به سرعت ایجاد کنند، که دقیقاً همان چیزی است که برای فرآوری ویفرهای نیمههادی لازم است. اما این توان، مشکلاتی را نیز به همراه دارد. باید در نصب این لامپها دقت کنید؛ براکتهای نصب باید ذراتی را آزاد نکنند، و جریان هوای خنککننده نیز باید مناسب باشد. اگر جریان هوا کافی نباشد، حتی تفلون نیز دچار مشکل میشود. شما نمیخواهید که عایقبندی سیمها به دلیل مشکلات خنککننده، شش ماه بعد دچار مشکل شود.
ما این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند به راحتی جایگزین دستگاههای موجود شوند؛ کافی است آنها را وصل کنید، کنترلکننده PID را تنظیم کنید، و اجازه دهید لامپهای کوارتز کار سنگین را انجام دهند. خط تولید شما تمیز خواهد ماند، و دیگر نیازی نیست نگران آلودگیهای ناشی از ذرات باشید.