در خط بستهبندی، حتی کمی رطوبت باقیمانده پس از تمیزکاری، میتواند باعث ایجاد مشکلاتی مانند جدا شدن لایهها، خرابی در اتصالات سیمی و کاهش کیفیت محصول شود. در کارخانههایی که به طور مداوم و ۲۴ ساعته فعال هستند، تغییرات دمایی و وجود ذرات ناخواسته، مشکلات جدی محسوب میشوند. فرآیند خشک کردن باید قابل تکرار، تمیز و سریع باشد؛ این امر در هر شیفت و هر محموله لازم است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما فرآیند خشک کردن را بر اساس دو معیار اصلی طراحی میکنیم: یکنواختی سطح ویفر و رعایت استانداردهای اتاقهای تمیز. سیستم، دمای مورد نظر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ بنابراین کیفیت فیلمهای حساس به نور در هنگام خشک شدن، تحت تأثیر قرار نمیگیرد. این سیستم در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ کار میکند و هیچ ذره ناخواستهای تولید نمیشود؛ این موضوع از طریق نظارت در حین فرآیند، تأیید میشود. عمر قطعات بیش از ۱۰٬۰۰۰ ساعت است و خروجی سیستم در هزاران چرخه حرارتی ثابت باقی میماند. قابلیت تکرار فرآیند، از طریق کنترل حلقه بسته، دستورالعملهای قابل ردیابی و نقشهبرداری میدان حرارتی، تأمین میشود.
دلیل اینکه این روش در کارخانههای بستهبندی موفق عمل میکند، این است که تنها شاخصهای مهم، بهرهوری و کیفیت محصول هستند. این روش، ویفرها را به سرعت خشک میکند، بدون اینکه منابع حرارتی مصرف شوند؛ این امر امکان استفاده از ویفرهای با ابعاد کوچکتر و فرآیندهای بستهبندی پیشرفتهتر را فراهم میکند. مصرف انرژی نیز به دلیل کنترل سریع دما و کاهش هدررفت انرژی، کاهش مییابد. همچنین، قابلیت اطمینان این سیستم، منجر به عدم وجود توقفات غیرمنتظره در فرآیند تولید میشود. شما میتوانید از حذف رطوبت یکنواخت، چسبندگی قابل پیشبینی و فرآیند تولید پایدار، در هر محموله، بهره ببرید.
چند واقعیت که نمیتوان از آنها چشمپوشی کرد: این سیستم نیاز به منبع تغذیه تمیز و سیستم تخلیه گاز مناسب دارد. بدون زمینسازی مناسب و سیستم تخلیه گاز، نویزهای الکترومغناطیسی و تلاطمات گاز، میتوانند باعث ایجاد اختلالات در دقت قرارگیری ویفرها شوند. همچنین، برای یکپارچهسازی اولیه، نیاز به کالیبراسیون دمایی برای انواع مختلف ویفرها وجود دارد. پس از انجام این کار، فرآیند تولید ثابت میشود. اما این مرحله ضروری است.