Mantener una sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si maneja una sala limpia de clase 100, seguramente ya conoce el problema: una sola partícula de polvo o un fragmento de material puede arruinar sus obleas de semiconductores. Es frustrante. La mayoría de los elementos calefactores representan un problema, ya que emiten gases o partículas justo cuando se necesita que permanezcan estables.
Hemos encontrado una solución mejor: utilizamos lámparas infrarrojas de cuarzo de alta pureza, junto con cables aislados con Teflón. Es simple, pero funciona.
Las ventajas del cuarzo de alta pureza
Elegimos la sílice fundida sintética para las carcasas de las lámparas. ¿Por qué? Porque no se deteriora con altas temperaturas. El vidrio estándar tiende a liberar partículas microscópicas al calentarse y enfriarse. Pero este cuarzo permanece estable. Permite que la radiación infrarroja pase directamente al sustrato, sin calentarse excesivamente. Sin desprendimiento de partículas. Solo calor limpio y directo.
No olvide los cables
Aquí está el problema: la lámpara es solo la mitad de la solución. La mayoría de las personas pasan por alto los cables, pero suele ser allí donde falla la sala limpia. Si utiliza cables de PVC estándar en equipos de semiconductores, el calor acabará dañando el aislamiento. Esto provoca la liberación de compuestos orgánicos volátiles en el vacío o en el aire. En resumen, se convierte en una fuente de contaminación.
Por eso utilizamos cables recubiertos con PTFE (Teflón). Son químicamente inertes, no se degradan y no liberan humos, incluso cuando las temperaturas son elevadas.
La realidad de la ingeniería
Estas lámparas de alta intensidad son excelentes, ya que pueden generar calor rápidamente, algo que es necesario para el procesamiento de obleas. Pero esa potencia conlleva ciertas limitaciones. Hay que ser cuidadosos con su instalación. Los soportes deben ser resistentes y el flujo de aire de refrigeración debe ser adecuado. Si el aire no circula suficientemente bien, incluso el Teflón puede fallar. No quiere que su sistema de aislamiento fallen después de seis meses debido a un problema de refrigeración.
Hemos diseñado estas unidades para que puedan reemplazar fácilmente a los equipos existentes. Solo necesita conectarlos, ajustar el controlador PID y dejar que las lámparas de cuarzo hagan el trabajo. Así, su línea de producción permanecerá limpia, y ya no tendrá que preocuparse por la contaminación por partículas.