En la planta de fabricación, la desviación térmica no se manifiesta mediante luces de advertencia. En cambio, se traduce en una pérdida de rendimiento y en un control del CD que deja de ser preciso. Las lámparas Mattson RTP están diseñadas para mantener los procesos de secado y curado del fotoreactivos dentro del rango térmico adecuado.
Lo que realmente importa Utilizamos lámparas halógenas de infrarrojo de onda corta, con cubierta de cuarzo, diseñadas para lograr un aumento rápido de temperatura y un estado estable y repetible. Esto permite una uniformidad de temperatura en el nivel de la oblea de ±0.1°C durante todo el proceso. Además, estos sistemas ofrecen perfiles de curado suaves y duros que mantienen su eficacia en cada ciclo de producción. Estas lámparas mantienen una salida estable durante miles de horas; hemos tenido unidades en funcionamiento durante más de 5,000 horas con menos del 5% de disminución en su rendimiento. Y como no generan partículas al funcionar, la cantidad de partículas en la sala limpia se mantiene dentro de los límites esperados para la clase 1–100.
Por qué esto es importante en la litografía En una línea de litografía, se necesita un proceso de curado suave que elimine eficazmente los solventes, y un proceso de curado duro que fije el fotoreactivos sin causar desviaciones en el CD. Estas lámparas garantizan esa repetibilidad, además de facilitar el secado de las obleas, ya que permiten que la humedad residual sea eliminada de forma rápida y uniforme. El resultado es menos desperdicio, menos trabajo adicional y menor consumo energético por lote, gracias a una eficiente transmisión de energía y a un equilibrio térmico rápido.
Detalles importantes durante la instalación La instalación es sencilla, pero es necesario verificar la orientación de las lámparas y la alineación de los reflectores durante el proceso de sustitución. Una mala alineación puede causar puntos calientes localizados y desviaciones térmicas. Asegúrese de que el conector de base, la tensión y el sistema de refrigeración sean compatibles con su cámara de procesamiento. También es importante programar inspecciones ópticas periódicas. Detectar tempranamente el final de la vida útil de las lámparas evita problemas en el control del proceso.