In der Fertigungsstätte zeigt sich die thermische Abweichung nicht durch ein Warnlicht an. Stattdessen zeigt sie sich in einem Rückgang der Produktqualität sowie in Unregelmäßigkeiten bei der Kontrolle des CD-Werts. Die Mattson RTP-Lampen sind so konzipiert, dass die Trocknungs- und Fotolackverarbeitungsschritte innerhalb des zulässigen Temperaturbereichs stattfinden – genau dort, wo sie hingehören.
Was wirklich wichtig ist Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Halogenlampen mit Quarzkörpern. Diese Lampen sind so eingestellt, dass sie eine schnelle Erhitzung sowie einen konstanten, wiederholbaren Betriebszustand ermöglichen. Dadurch wird eine Temperaturhomogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C gewährleistet. Zudem sorgen diese Lampen dafür, dass die Trocknungsvorgänge immer gleich ablaufen. Sie halten ihre Leistung über Tausende von Stunden hinweg konstant – wir haben bereits Geräte, die seit mehr als 5.000 Stunden betrieben werden, ohne dass es zu einem Leistungsabfall von mehr als 5% kommt. Da diese Lampen bei ihrem Betrieb keine Partikel freisetzen, bleiben die Partikelkonzentrationen im Reinraum innerhalb der gewünschten Werte (Klasse 1–100).
Warum das für die Lithografie wichtig ist In einer Lithografieanlage braucht man eine sanfte Trocknung, um Lösungsmittel effektiv zu entfernen, sowie eine intensive Trocknung, um den Fotolack richtig zu härten – ohne dass es zu Ungenauigkeiten kommt. Diese Ersatzlampen gewährleisten diese Wiederholgenauigkeit. Zudem unterstützen sie die Trocknung der Wafer, damit überschüssige Feuchtigkeit schnell und gleichmäßig entfernt werden kann. Das Ergebnis sind weniger Ausschusswaren, weniger Nacharbeiten sowie geringere Energiekosten pro Charge – dank effizienter Strahlungskopplung und schneller Abkühlung.
Wichtige Details bei der Installation Die Installation ist einfach – doch bei dem Austausch der Lampen muss die Ausrichtung der Lampen sowie die Ausrichtung der Reflektoren überprüft werden. Fehlende Ausrichtung kann zu lokalen Hitzzonen führen. Stellen Sie sicher, dass der Steckverbinder, die Spannung sowie die Kühlungseinrichtung zu Ihrer Reinraumtechnik passen. Planen Sie außerdem regelmäßige optische Überprüfungen ein. Früher Erkennung des Endes der Lebensdauer der Lampen verhindert Probleme bei der Prozesssteuerung.