
Verhindern Sie, dass Ihre Trockenlampen Ihre Produktion ruinieren.
In einer hochbelasteten Fertigungseinrichtung ist ein Versagen einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – es ist auch schrecklich, wenn eine Quarzröhre direkt über einer Siliziumwafer platzt. Einen Moment lang ist alles in Ordnung, im nächsten Moment liegen überall Glasscherben und chemische Rückstände herum. Das führt sofort zu Produktionsverlusten.
Wir entwickeln unsere Infrarot-Trocknungs Lampen so, dass so etwas nicht passieren kann.
Umgang mit dem „Knall“
Die meisten Quarzröhren können den Schock durch schnelles Ansteigen der Leistung nicht aushalten. Wenn man die Leistung zu schnell erhöht, bricht die Röhre. Wir verwenden daher hochreinen synthetischen Quarz. Dieser ist widerstandsfähiger und kann hohe Leistungen aushalten, ohne Schaden zu nehmen. Zudem achten wir sehr auf die Dicke der Glaswand. Wenn die Glaswand uneben ist, entstehen Hotspots – genau dort beginnt das Versagen der Röhre. Durch eine präzise Dicke der Glaswand verteilt sich die Wärme gleichmäßig, sodass die Röhre intakt bleibt.
Verhinderung von Glassplittern auf den Wafern
Auch mit dem besten Glas können Probleme auftreten. Die Glühfäden können ausbrennen oder es können Unfälle geschehen. Deshalb verwenden wir Schutzschalen und Behälter. Falls eine Röhre versagt, fängt die Schale die Scherben auf. So landen keine Glassplitter auf den Wafern – und es entsteht kein Ärger.
Wir legen auch großen Wert auf die Endkappen und Abdichtungen. Billige Lampen neigen dazu, bei Erwärmung Unreinheiten auszuströmen – das ist katastrophal für eine Reinraumumgebung. Unsere Lampen bleiben sauber und sicher.
Warnung bezüglich der Wärme
Diese Lampen strahlen eine enorme Menge an Infrarotenergie ab. Das ist gut für eine schnelle Trocknung – doch dadurch werden die Befestigungsgehäuse sehr heiß. Man muss sicherstellen, dass das Kühlsystem ausreicht. Wenn die Luftzirkulation zu schwach ist, können die Kabel bereits lange vor dem Versagen der Lampe schmelzen.
Wir entwickeln diese Lampen für 24/7-Betrieb. Dadurch bleibt die Temperatur konstant – und vor allem: Man muss sich keine Sorgen machen, dass ein einziger Lampenversager die gesamte Produktion zerstört.