Správné vysychání waférů: Tajemství spočívá v reflexorech
Pokud pracujete s vysycháním waférů, znáte ty potíže. Potřebujete, aby teplotní gradienty byly přesné. Aby se to podařilo, používáme krátkovlnné infračervené lampy spolu s velmi specifickými reflexory.
V moderních výrobních prostorách se všichni mluví o řízení teploty na základě dat. Ale to je jen iluze, pokud energie uniká do všech směrů, jako kdyby praskla tryska.
Přestaňte plýtvat energií
Představte si reflektor jako nástroj na formování svazku světla. Bez něj velká část vaší infračervené radiace prostě zmizí v tělese stroje. To je prostě plýtvání energií.
Tím, že svazek světla zaměříte přímo na wafer, dosáhnete mnohem vyšší hustoty tepla tam, kde je to opravdu důležité. Nejlepší na tom je, že můžete snížit výkon lampy a přesto dosáhnout požadovaných rychlostí vysychání. Je to prostě efektivnější.
Samozřejmě musí být povlak dokonalý. Obvykle používáme povlaky z zlata nebo hliníku – ty totiž nejlépe zpracovávají krátkovlnné infračervené záření. Ale pozorujte je – pokud se povlak začne loupat nebo oxidovat, vaše tepelná jednotnost zmizí.
Uvolnění prostoru
Všichni chtějí menší rozměry a lepší data. Když reflexory skutečně fungují, nepotřebujete tolik lamp k dokončení práce.
To uvolňuje potřebný prostor pro senzory a kabeláž PLC. Navíc, protože celou komoru neohříváte nadměrně, chladicí systémy nemusí tak tvrdě pracovat na udržení stability teploty.
Ale pozor: vyšší hustota svazku světla znamená vyšší riziko vzniku „horkých míst“. Musíte se ujistit, že vaši PID regulátory jsou nastaveny na rychlé změny teploty. Pokud je geometrie reflexoru příliš agresivní, wafer se může spálit ještě předtím, než senzory zjistí, že je nějaký problém.
Udržování toku práce
Tyto reflexory jsou navrženy tak, aby se daly jednoduše nahradit.
Časem každý reflektor ztrácí svůj lesk – obvykle kvůli uvolňování plynů nebo obecné kontaminaci. Když se to stane, stačí ho prostě vyměnit. Není potřeba trávit celý den kalibrací celého topného systému.
Jen se ujistěte, že je správně zarovnaný. To je jediný způsob, jak zajistit, aby to, co vidíte v digitálním modelu, skutečně odpovídalo situaci v reálném prostoru.