আপনার ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা কতটা কঠিন?
যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম পরিচালনা করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে কতটা ঝামেলার ব্যাপার। একটি ছোট্ট ধূলিকণা বা অপ্রয়োজনীয় কণাও আপনার সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। এটা খুবই হতাশাজনক। বেশিরভাগ হিটিং এলিমেন্টগুলোই সমস্যার কারণ; কারণ ঠিক সেই সময়েই এগুলো গ্যাস নির্গত করে বা কণা ছড়িয়ে দেয়, যখন এগুলো স্থিতিশীল থাকা দরকার।
আমরা এর জন্য একটি ভালো উপায় খুঁজে পেয়েছি। আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি; এগুলোকে টেফলন-ইনসুলেটেড ওয়্যারিংয়ের সাথে ব্যবহার করা হয়। এটা খুবই সহজ, কিন্তু কার্যকর।
উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজের ব্যবহার
আমরা ল্যাম্পের আবরণ হিসেবে সিন্থেটিক ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি। কেন? কারণ এটা উচ্চ তাপমাত্রাতেও নষ্ট হয় না। সাধারণ কাঁচ গরম ও ঠান্ডা হওয়ার সময় অণুকণা নির্গত করে; কিন্তু কোয়ার্টজ এমনই থাকে। এটা ইনফ্রারেড বিকিরণকে সরাসরি সাবস্ট্রেটে পৌঁছে দেয়, নিজে অতিরিক্ত গরম হয় না। কোনো কণা ছড়ায় না। শুধুমাত্র পরিষ্কার, সরাসরি তাপ।
ওয়্যারিং উপেক্ষা করবেন না
মনে রাখবেন, ল্যাম্পটাই সমস্যার সমাধান নয়। বেশিরভাগ মানুষ ওয়্যারিংকে উপেক্ষা করেন; কিন্তু সাধারণত এখানেই ক্লিনরুমটি ব্যর্থ হয়। যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর টুলে সাধারণ PVC ওয়্যারিং ব্যবহার করেন, তাহলে তাপের কারণে ইনসুলেশনটি নষ্ট হয়ে যায়। এর ফলে ভ্যাকুয়াম বা বাতাসে ভোলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ডস (VOCs) নির্গত হয়। এটা আসলে একটি দূষণ সৃষ্টিকারী ব্যবস্থা।
এজন্যই আমরা PTFE (টেফলন) কোটেড ওয়্যারিং ব্যবহার করি। এটা রাসায়নিকভাবে স্থিতিশীল; এটা কখনও নষ্ট হয় না, আর গরম হলেও কোনো গ্যাস নির্গত হয় না।
ইঞ্জিনিয়ারিংয়ের বাস্তবতা
এই উচ্চ-শক্তির ল্যাম্পগুলো দারুণ; কারণ এগুলো দ্রুত তাপ সরবরাহ করে—যা ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য অপরিহার্য। কিন্তু এর জন্য বিশেষ ব্যবস্থা দরকার। আপনার মাউন্টিং ব্র্যাকেটগুলো কণা ছড়াবে না; আর কুলিং এয়ারফ্লোটিও সঠিক হতে হবে। যদি বাতাস যথেষ্ট না থাকে, তাহলে টেফলনও নষ্ট হয়ে যেতে পারে। আপনি চাইবেন না যে কুলিং সমস্যার কারণে ছয় মাস পর ইনসুলেশনটি নষ্ট হয়ে যাক।
আমরা এই ইউনিটগুলোকে আপনার বর্তমান টুলগুলোর জন্য সহজেই ব্যবহারযোগ্য করে তুলেছি। আপনি শুধুমাত্র এগুলোকে ওয়্যারিং দিয়ে সংযুক্ত করুন, PID কন্ট্রোলারটি সেট করুন; বাকিটা কোয়ার্টজ ল্যাম্পগুলোই করবে। আপনার প্রোডাকশন লাইনটি পরিষ্কার থাকবে, আর আপনাকে আর কণাজনিত দূষণ নিয়ে চিন্তা করতে হবে না।